Вакуумний катодний дуговий іонcoання скорочено називається вакуумною дугоюcoування. Якщо використовуються два або більше джерел вакуумного дугового випаровування (які називаються джерелами дуги), це називається багатодуговим іонним випаровуванням.coдуги або багатодуговогоcoЦе технологія вакуумного іонного покриття, яка використовує вакуумний дуговий розряд для джерел випаровування. На відміну від гарячої електронної дуги розряду з порожнистим катодом, його дугова форма полягає у формуванні катодних дугових плям на поверхні холодного катода.
Характеристики вакуумного катода з дуговим іонним зчепленнямcoїдять:
(1) Джерелом випаровування є тверда катодна мішень, яка безпосередньо генерує плазму з джерела катодної мішені без потреби у розплавленій ванні. Джерело дугової мішені може бути розташоване в будь-якому напрямку та з кількох джерел для забезпечення рівномірного покриття.
(2) Конструкція обладнання відносно проста, не потребує робочого газу або допоміжних методів іонізації. Джерело дугової мішені є не лише джерелом випаровування катодного матеріалу, але й джерелом іонів; під час реактивного осадження існує лише реактивний газ, а атмосфера контролюється за допомогою простого повного регулятора тиску.
(3) Швидкість іонізації висока, зазвичай досягає 60%~80%, а швидкість осадження висока.
(4) Енергія падаючого іону висока, а сила зв'язку плівки з підкладкою осадженої плівки хороша.
(5) Використання низьковольтного джерела живлення для безпечної роботи.
(6) Він може осаджувати металеві плівки, плівки сплавів, реагувати та синтезувати різні складні плівки (сполуки аміаку, карбіди, оксиди), і навіть синтезувати плівки DLC, плівки CN тощо. Його недоліком є те, що під час осадження з поверхні мішені розбризкуються крихітні краплі рідини, які конденсуються в шарі покритої плівки та збільшують її шорсткість. Наразі досліджено багато ефективних методів для зменшення та усунення цих мікрокрапель.
Вакуумна дуга іонізаціяcoТехнологія покриття широко використовується для нанесення надтвердих захисних покриттів на інструменти та форми. Плівкові системи включають TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC тощо. Покривні продукти включають інструменти, форми тощо. Що стосується імітації золота та кольорових декоративних захисних покриттів, плівкові системи включають TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON тощо. Кольорові плівкові системи включають пістолетно-чорний, чорний, фіолетовий, коричневий, синій, зелено-сірий тощо.
Багатодуговий іонcoПокриття має широкий спектр застосування та високу практичність, особливо для нанесення декоративних та зносостійких твердих плівок на поверхні матеріалів, таких як ріжучі інструменти, форми та пластини з нержавіючої сталі.
Час публікації: 17 серпня 2023 р.