Püskürtme kaplama işleminde, bileşikler kimyasal olarak sentezlenmiş filmlerin hazırlanması için hedef olarak kullanılabilir. Ancak, hedef malzemenin püskürtülmesinden sonra oluşturulan filmin bileşimi genellikle hedef malzemenin orijinal bileşiminden büyük ölçüde sapar ve bu nedenle orijinal tasarımın gereksinimlerini karşılamaz. Saf bir metal hedef kullanılırsa, gerekli aktif gaz (örneğin, oksit filmler hazırlanırken oksijen) bilinçli olarak çalışma (deşarj) gazına karıştırılır, böylece hedef malzemeyle kimyasal olarak reaksiyona girerek bileşimi ve özellikleri açısından kontrol edilebilen ince bir film üretir. Bu yönteme genellikle "reaksiyon püskürtme" denir.
Daha önce de belirtildiği gibi, RF püskürtme dielektrik filmler ve çeşitli bileşik filmler biriktirmek için kullanılabilir. Ancak, "saf" bir film hazırlamak için "saf" bir hedefe, yüksek saflıkta oksit, nitrür, karbür veya diğer bileşik toza sahip olmak gerekir. Bu tozların belirli bir şekle sahip bir hedefe işlenmesi, kalıplama veya sinterleme için gerekli katkı maddelerinin eklenmesini gerektirir ve bu da hedefin ve elde edilen filmin saflığında önemli bir azalmaya neden olur. Ancak reaktif püskürtmede, yüksek saflıkta metaller ve yüksek saflıkta gazlar kullanılabildiğinden, yüksek saflıkta filmlerin hazırlanması için uygun koşullar sağlanır. Reaktif püskürtme son yıllarda giderek artan bir ilgi görmüştür ve çeşitli fonksiyonel bileşiklerin ince filmlerini çökeltmek için önemli bir yöntem haline gelmiştir. IV, I- ve IV-V bileşikleri, refrakter yarı iletkenler ve çeşitli oksitlerin üretiminde yaygın olarak kullanılmıştır, örneğin polikristalin Si ve CH./Ar gaz karışımlarının kullanımı ile SiC ince filmlerinin çökeltilmesi, Ti hedef ve N/Ar ile TiN sert filmler hazırlanması, Ta ve O/Ar ile TaO hazırlanması; dielektrik ince filmler, Fe ve O,/Ar ile -FezO hazırlanması; -FezO. kayıt filmleri, A1 ve N/Ar içeren AIN piezoelektrik filmleri, AI ve CO/Ar içeren A1-CO seçici emilim filmleri ve Y-Ba-Cu ve O/Ar içeren YBaCuO-süperiletken filmler, diğerleri arasında.
–Bu makale tarafından yayınlanmıştırvakum kaplama makinesi üreticisiGuangdong Zhenhua
Gönderi zamanı: 18-Oca-2024