Vakum katot ark iyonucoyeme vakum arkı olarak kısaltılırcoİki veya daha fazla vakum ark buharlaştırma kaynağı (ark kaynakları olarak adlandırılır) kullanılırsa, buna çoklu ark iyon kaynağı denir.coyeme veya çoklu yaycoating. Buharlaşma kaynakları için vakum ark deşarjını kullanan bir vakum iyon kaplama teknolojisidir. İçi boş katot deşarjının sıcak elektron arkından farklı olarak, ark formu soğuk katodun yüzeyinde katot ark noktalarının oluşumudur.
Vakum katot ark iyonunun özelliklericoyeme şunlardır:
(1) Buharlaşma kaynağı, erimiş bir havuza ihtiyaç duymadan doğrudan katot hedef kaynağından plazma üreten katı bir katot hedefidir. Ark hedef kaynağı, düzgün kaplama sağlamak için herhangi bir yönde ve birden fazla kaynakta düzenlenebilir.
(2) Ekipman yapısı nispeten basittir, çalışma gazı veya yardımcı iyonizasyon yöntemlerine ihtiyaç duyulmaz. Ark hedef kaynağı yalnızca katot malzemesi için bir buharlaşma kaynağı değil, aynı zamanda bir iyon kaynağıdır; Reaktif biriktirme sırasında yalnızca reaktif gaz bulunur ve atmosfer basit bir tam basınç kontrolü kullanılarak kontrol edilir.
(3) İyonlaşma oranı yüksektir, genellikle %60~%80'e ulaşır ve biriktirme oranı yüksektir.
(4) Olay iyon enerjisi yüksektir ve biriktirilen filmin film/alt tabaka bağlanma kuvveti iyidir.
(5) Güvenli çalışma için düşük voltajlı bir güç kaynağının kullanılması.
(6) Metal filmleri, alaşımlı filmleri biriktirebilir, çeşitli bileşik filmleri (amonyak bileşikleri, karbürler, oksitler) reaksiyona sokabilir ve sentezleyebilir ve hatta DLC filmleri, CN filmleri vb. sentezleyebilir. Dezavantajı, biriktirme sırasında hedef yüzeyden küçük sıvı damlacıklarının sıçraması ve kaplanmış film tabakasında yoğunlaşarak film tabakasının pürüzlülüğünü artırmasıdır. Şu anda, bu mikro damlacıkları azaltmak ve ortadan kaldırmak için birçok etkili yöntem incelenmiştir.
Vakum ark iyonucokaplama teknolojisi, aletler ve kalıplar için süper sert koruyucu kaplamaları kaplamak için yaygın olarak kullanılmıştır. Film sistemleri arasında TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC vb. bulunur. Kaplama ürünleri arasında aletler, kalıplar vb. bulunur. Taklit altın ve renkli dekoratif koruyucu kaplamalar açısından film sistemleri arasında TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON vb. bulunur. Renkli film sistemleri arasında silah siyahı, siyah, mor, kahverengi, mavi yeşil gri vb. bulunur.
Çoklu ark iyoncoÖzellikle kesici takımlar, kalıplar ve paslanmaz çelik levhalar gibi malzemelerin yüzeylerine dekoratif ve aşınmaya dayanıklı sert film tabakaları kaplamak gibi geniş bir uygulama alanına ve güçlü pratikliğe sahiptir.
Gönderi zamanı: 17-Ağu-2023