Wakuum ion örtügi (gysgaça ion örtügi) 1970-nji ýyllarda çalt işlenip düzülen täze ýüzleý işläp taýýarlamak tehnologiýasy bolup, 1963-nji ýylda ABŞ-da Somdia kompaniýasynyň DM Mattox tarapyndan teklip edildi. Ol wakuum atmosferasynda plýonka materialyny bugartmak ýa-da püskürtmek üçin bugartma çeşmesini ýa-da püskürtme nyşanyny ulanmak prosesini aňladýar.
Birinjisi, gaz boşaltma plazma giňişliginde bölekleýin metal bugyna we ýokary energiýaly neýtral atomlara ionlaşan we elektrik meýdanynyň täsiri arkaly plyonka emele getirmek üçin substrata ýetýän plyonka materialyny gyzdyrmak we buharlandyrmak arkaly metal bugyny döretmekdir; ikinjisi ýokary energiýaly ionlary (Mysal üçin, Ar+) ulanýar, şonuň üçin püsküren bölejikler gaz boşaltma giňişligi arkaly ionlara ýa-da ýokary energiýaly neýtral atomlara ionlaşýar we substratyň ýüzüni plyonka emele getirmek üçin amala aşyrýar.
Bu makala öndüriji Guangdong Zhenhua tarapyndan çap edildiwakuum örtük enjamlary
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 10-njy marty