Wakuum ion örtügi (gysgaça ion örtük) 1970-nji ýyllarda çalt ösen täze ýerüsti bejeriş tehnologiýasy bolup, 1963-nji ýylda ABŞ-da Somdia kompaniýasynyň DM Mattox tarapyndan teklip edilipdi. Bu bugarmak çeşmesini ulanmak ýa-da tüýkürmek prosesine degişlidir. wakuum atmosferasynda film materialyny bugarmak ýa-da dökmek.
Öňküsi, metal çykaryjy plazma giňişliginde metal buglara we ýokary energiýaly bitarap atomlara bölekleýin ionlaşdyrylan we elektrik meýdanynyň üsti bilen film döretmek üçin substrata ýetýän film materialyny gyzdyrmak we bugarmak arkaly metal bug öndürmekdir. ;ikinjisi ýokary energiýa ionlaryny ulanýar (Mysal üçin, Ar +) film materialynyň ýüzüni bombalaýar, şonuň üçin dökülen bölejikler gazyň boşlugynyň üsti bilen ionlara ýa-da ýokary energiýa bitarap atomlara ionlaşýar we substratyň üstüni bilýär. film döretmek üçin.
Bu makala öndüriji Guangdong Zhenhua tarapyndan neşir edildivakuum örtük enjamlary
Iş wagty: Mart-10-2023