آبکاری یونی خلاء (به اختصار آبکاری یونی) یک فناوری جدید تصفیه سطح است که به سرعت در دهه 1970 توسعه یافت که توسط DM Mattox از شرکت Somdia در ایالات متحده در سال 1963 پیشنهاد شد. این به فرآیند استفاده از منبع تبخیر یا کندوپاش اشاره دارد. هدف قرار دادن تبخیر یا پاشش مواد فیلم در اتمسفر خلاء.
اولی برای تولید بخار فلز با گرم کردن و تبخیر مواد فیلم است که تا حدی به بخار فلز و اتم‌های خنثی پرانرژی در فضای پلاسمای تخلیه گاز یونیزه می‌شود و از طریق عمل میدان الکتریکی به زیرلایه می‌رسد تا یک فیلم تشکیل دهد. ;دومی از یون های پرانرژی استفاده می کند (به عنوان مثال، Ar+) سطح مواد فیلم را بمباران می کند به طوری که ذرات پراکنده شده به یون ها یا اتم های خنثی با انرژی بالا از طریق فضای تخلیه گاز یونیزه می شوند و سطح زیرلایه را درک می کنند. برای تشکیل یک فیلم
این مقاله توسط Guangdong Zhenhua منتشر شده استتجهیزات پوشش خلاء
زمان ارسال: مارس-10-2023