Vakum iyon kaplama (kısaca iyon kaplama), 1970'lerde hızla geliştirilen ve 1963 yılında Amerika Birleşik Devletleri'ndeki Somdia Şirketi'nden DM Mattox tarafından önerilen yeni bir yüzey işleme teknolojisidir. Bu teknoloji, vakum ortamında film malzemesini buharlaştırmak veya püskürtmek için buharlaştırma kaynağı veya püskürtme hedefi kullanma işlemine atıfta bulunur.
Birincisi, film malzemesinin ısıtılıp buharlaştırılmasıyla metal buharı üretilmesidir; bu buhar, gaz deşarj plazma alanında kısmen metal buharına ve yüksek enerjili nötr atomlara iyonize olur ve elektrik alanın etkisiyle alt tabakaya ulaşarak bir film oluşturur; ikincisi ise yüksek enerjili iyonların (örneğin, Ar+) film malzemesinin yüzeyine bombardıman edilmesiyle, püskürtülen parçacıkların gaz deşarj alanı aracılığıyla iyonlara veya yüksek enerjili nötr atomlara iyonize olmasını ve alt tabakanın yüzeyinde bir film oluşturmasını sağlar.
Bu makale, bir üretici olan Guangdong Zhenhua tarafından yayınlanmıştır.vakum kaplama ekipmanı
Yayın tarihi: 10 Mart 2023