Ìbòrí ion vacuum (ìbòrí ion ní kúkúrú) jẹ́ ìmọ̀ ẹ̀rọ ìtọ́jú ojú ilẹ̀ tuntun tí a ṣe àgbékalẹ̀ rẹ̀ kíákíá ní àwọn ọdún 1970, èyí tí DM Mattox ti Somdia Company ní Orílẹ̀-èdè Amẹ́ríkà dábàá ní ọdún 1963. Ó tọ́ka sí ìlànà lílo orísun evaporation tàbí ibi tí a fẹ́ fi sputtering ṣe láti gbó tàbí tú àwọn ohun èlò fíìmù náà jáde nínú afẹ́fẹ́ vacuum.
Èyí àkọ́kọ́ ni láti mú kí èéfín irin jáde nípa gbígbóná àti yíyọ́ ohun èlò fíìmù náà, èyí tí a ti sọ di ion díẹ̀ sí ion àti àwọn átọ̀mù aláìlágbára gíga nínú àyè plasma ìtújáde gaasi, tí ó sì dé orí substrate láti ṣẹ̀dá fíìmù nípasẹ̀ iṣẹ́ pápá iná mànàmáná; èyí ìkẹyìn ń lo àwọn ion alágbára gíga (Fún àpẹẹrẹ, Ar+) ń bo ojú ohun èlò fíìmù náà kí àwọn èròjà tí a ti fọ́n jáde lè di ion sí àwọn ion tàbí àwọn átọ̀mù aláìlágbára gíga nípasẹ̀ àyè ìtújáde gaasi, kí wọ́n sì ṣe ojú substrate náà láti ṣẹ̀dá fíìmù kan.
Atẹ̀jáde àpilẹ̀kọ yìí ni Guangdong Zhenhua, olùpèsè kan tiẹrọ ti a fi bo igbale
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹta-10-2023