يُعد الطلاء الأيوني الفراغي (الطلاء الأيوني باختصار) تقنية جديدة لمعالجة الأسطح تم تطويرها بسرعة في السبعينيات، والتي اقترحها دي إم ماتوكس من شركة سومديا في الولايات المتحدة عام 1963. ويشير إلى عملية استخدام مصدر تبخير أو هدف رش لتبخير أو رش مادة الفيلم في جو فراغي.
تتمثل الطريقة الأولى في توليد بخار معدني عن طريق تسخين وتبخير مادة الفيلم، والتي تتأين جزئيًا إلى بخار معدني وذرات متعادلة عالية الطاقة في حيز بلازما التفريغ الغازي، وتصل إلى الركيزة لتشكيل فيلم من خلال تأثير المجال الكهربائي؛ أما الطريقة الثانية فتستخدم أيونات عالية الطاقة (على سبيل المثال، Ar+) لقصف سطح مادة الفيلم بحيث تتأين الجسيمات المتناثرة إلى أيونات أو ذرات متعادلة عالية الطاقة من خلال حيز التفريغ الغازي، وتصل إلى سطح الركيزة لتشكيل فيلم.
نُشر هذا المقال بواسطة شركة قوانغدونغ تشنهوا، وهي شركة مصنعة لـمعدات الطلاء بالتفريغ
تاريخ النشر: 10 مارس 2023