Вакуум ион бүрэх (товчоор ион бүрэх) нь 1970-аад онд хурдацтай хөгжиж ирсэн шинэ гадаргуугийн боловсруулалтын технологи бөгөөд 1963 онд АНУ-ын Сомдиа компанийн ДМ Маттокс санал болгосон. Энэ нь ууршуулах эх үүсвэр эсвэл цацах байг ашиглан вакуум агаар мандалд хальсан материалыг ууршуулах эсвэл цацах үйл явцыг хэлнэ.
Эхнийх нь хальсан материалыг халааж, ууршуулах замаар металлын уур үүсгэх бөгөөд энэ нь хийн ялгаруулалттай плазмын орон зайд металлын уур болон өндөр энергитэй саармаг атомууд болж хэсэгчлэн ионжиж, цахилгаан орны үйлчлэлээр хальс үүсгэхийн тулд субстратад хүрдэг; сүүлийнх нь өндөр энергитэй ионуудыг (жишээлбэл, Ar+) ашиглан хальсан материалын гадаргууг бөмбөгддөг бөгөөд ингэснээр цацагдсан хэсгүүд нь хийн ялгаруулалттай орон зайгаар ион эсвэл өндөр энергитэй саармаг атомууд болж ионжиж, субстратын гадаргууг хальс үүсгэдэг.
Энэ нийтлэлийг үйлдвэрлэгч Гуандун Жэнхуа нийтэлсэн.вакуум бүрэх тоног төхөөрөмж
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 3-р сарын 10