Vacuum ion plating (ion plating for short) ke thekenoloji e ncha ea phekolo ea holim'a metsi e ntlafalitsoeng ka potlako lilemong tsa bo-1970, e ileng ea hlahisoa ke DM Mattox oa Somdia Company United States ka 1963. E bolela mokhoa oa ho sebelisa mohloli oa mouoane kapa sputtering. sepheo sa ho moafatsa kapa ho fafatsa sesebediswa sa filimi sebakeng sa vacuum.
Ea pele ke ho hlahisa mouoane oa tšepe ka ho futhumatsa le ho etsa mouoane oa thepa ea filimi, e kentsoeng ka mokhoa o itseng ho ba mouoane oa tšepe le liathomo tse sa nke lehlakore tse nang le matla a phahameng sebakeng sa plasma ea khase, 'me e fihla substrate ho etsa filimi ka ketso ea tšimo ea motlakase. ;ea morao-rao e sebelisa li-ion tse nang le matla a phahameng ( Ka mohlala, Ar +) e hlasela holim'a lintho tse bonahalang tsa filimi e le hore likaroloana tse sputtered li ionized ka ion kapa liathomo tse sa nke lehlakore tse nang le matla a phahameng ka sebaka sa ho tsoa ha khase, 'me li hlokomele bokaholimo ba karoloana. ho etsa filimi.
Sengoliloeng sena se hatisitsoe ke Guangdong Zhenhua, moetsi oalisebelisoa tsa ho roala ka vacuum
Nako ea poso: Mar-10-2023