Ho betla ha ion ka vacuum (ho betla ha ion ka bokhutšoanyane) ke theknoloji e ncha ea kalafo ea bokaholimo e ntlafalitsoeng ka potlako lilemong tsa bo-1970, e ileng ea hlahisoa ke DM Mattox oa Somdia Company United States ka 1963. E bua ka ts'ebetso ea ho sebelisa mohloli oa mouoane kapa sepheo sa ho phunya ho monya kapa ho phunya thepa ea filimi moeeng oa vacuum.
Ea pele ke ho hlahisa mouoane oa tšepe ka ho futhumatsa le ho fetola thepa ea filimi hore e be mouoane, e leng karolo e itseng e entsoeng ka ion ho ba mouoane oa tšepe le liathomo tse se nang lehlakore tse nang le matla a mangata sebakeng sa plasma ea khase e ntšang khase, 'me e fihle substrate ho etsa filimi ka ts'ebetso ea tšimo ea motlakase; ea morao e sebelisa li-ion tse nang le matla a mangata (Mohlala, Ar+) e hlasela bokaholimo ba thepa ea filimi e le hore likaroloana tse tšolotsoeng li fetoloe ka ion ho ba li-ion kapa liathomo tse se nang lehlakore tse nang le matla a mangata ka sebaka sa khase e ntšang khase, 'me e etse hore bokaholimo ba substrate bo etse filimi.
Sengoloa sena se phatlalalitsoe ke Guangdong Zhenhua, moetsi oalisebelisoa tsa ho roala ka vacuum
Nako ea poso: Hlakubele-10-2023