진공 이온 도금(줄여서 이온 도금)은 1970년대에 급속도로 발전한 새로운 표면 처리 기술로, 1963년 미국 솜디아(Somdia)사의 DM 매톡스(DM Mattox)가 제안했습니다. 이는 진공 분위기에서 증발원 또는 스퍼터링 타겟을 사용하여 박막 재료를 증발시키거나 스퍼터링하는 공정을 말합니다.
전자는 박막 재료를 가열 및 증발시켜 금속 증기를 발생시키는 방법으로, 이 증기는 가스 방전 플라즈마 공간에서 부분적으로 이온화되어 금속 증기와 고에너지 중성 원자로 변환되고, 전기장의 작용을 통해 기판에 도달하여 박막을 형성합니다. 후자는 고에너지 이온(예: Ar+)을 박막 재료 표면에 충돌시켜 스퍼터링된 입자가 가스 방전 공간을 통해 이온 또는 고에너지 중성 원자로 이온화되도록 하고, 이를 통해 기판 표면에 박막을 형성합니다.
이 기사는 제조업체인 광둥전화(Guangdong Zhenhua)에서 발행했습니다.진공 코팅 장비
게시 시간: 2023년 3월 10일