Вакуумдук иондук каптоо (кыскача иондук каптоо) – бул 1970-жылдары тездик менен иштелип чыккан жаңы беттик тазалоо технологиясы, ал 1963-жылы АКШдагы Somdia компаниясынын Д.М. Маттокс тарабынан сунушталган. Ал буулануу булагын же чачыратуу бутасын колдонуп, пленка материалын вакуумдук атмосферада бууландыруу же чачыратуу процессин билдирет.
Биринчиси, пленка материалын ысытуу жана буулантуу аркылуу металл буусун пайда кылуу болуп саналат, ал газ разрядынын плазма мейкиндигинде металл буусуна жана жогорку энергиялуу нейтралдуу атомдорго жарым-жартылай иондолот жана электр талаасынын таасири аркылуу пленка пайда кылуу үчүн субстратка жетет; экинчиси жогорку энергиялуу иондорду (мисалы, Ar+) колдонуп, пленка материалынын бетин бомбалайт, ошентип чачыраган бөлүкчөлөр газ разрядынын мейкиндиги аркылуу иондорго же жогорку энергиялуу нейтралдуу атомдорго иондолот жана субстраттын бетин пленка пайда кылуу үчүн ишке ашырат.
Бул макаланы өндүрүүчүсү Гуандун Чжэньхуа жарыялаган.вакуумдук каптоо жабдуулары
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 10-марты