Вакуумдық иондық қаптама (қысқаша иондық қаптама) - 1970 жылдары тез дамыған жаңа беттік өңдеу технологиясы, оны 1963 жылы Америка Құрама Штаттарындағы Somdia компаниясының өкілі Д.М. Маттокс ұсынған. Бұл вакуумдық атмосферада пленка материалын буландыру немесе шашырату үшін булану көзін немесе шашырату нысанасын пайдалану процесін білдіреді.
Біріншісі - газ разряды плазма кеңістігінде металл буына және жоғары энергиялы бейтарап атомдарға ішінара иондалатын және электр өрісінің әсері арқылы пленка түзу үшін субстратқа жететін пленка материалын қыздыру және буландыру арқылы металл буын жасау; соңғысы жоғары энергиялы иондарды (мысалы, Ar+) пайдаланады, осылайша шашыраған бөлшектер газ разряды кеңістігі арқылы иондарға немесе жоғары энергиялы бейтарап атомдарға иондалады және субстрат бетінде пленка түзеді.
Бұл мақаланы өндіруші Гуандун Чжэньхуа жариялады.вакуумдық жабын жабдықтары
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 10 наурыз