Tha plating falamh falamh (ion plating airson goirid) na theicneòlas làimhseachaidh uachdar ùr a chaidh a leasachadh gu luath anns na 1970n, a chaidh a mholadh le DM Mattox à Somdia Company anns na Stàitean Aonaichte ann an 1963. Tha e a’ toirt iomradh air a ’phròiseas a bhith a’ cleachdadh stòr falmhachaidh no sputtering targaid gus an stuth film a ghlanadh no a sputter anns an àile falamh.
Is e a’ chiad fhear ceò meatailt a ghineadh le bhith a ’teasachadh agus a’ falmhachadh an stuth film, a tha gu ìre air a ionachadh a-steach do bhalbhaichean meatailt agus dadaman neodrach àrd-lùth anns an àite plasma sgaoilidh gas, agus a ruigeas an t-substrate gus film a chruthachadh tro ghnìomhachd an raoin dealain. ;bidh an tè mu dheireadh a’ cleachdadh ions àrd-lùth (Mar eisimpleir, Ar +) a’ spreadhadh uachdar an stuth film gus am bi na mìrean sputtered air an ionachadh a-steach do ianan no atoman àrd-lùth neodrach tro àite an t-sgaoilidh gas, agus a’ tuigsinn uachdar an t-substrate. film a chruthachadh.
Tha an artaigil seo air fhoillseachadh le Guangdong Zhenhua, neach-dèanamh deuidheamachd còmhdach falamh
Ùine puist: Mar-10-2023