Vakuumli ion qoplamasi (qisqacha ion qoplamasi) 1963 yilda Qo'shma Shtatlardagi Somdia kompaniyasining DM Mattox tomonidan taklif qilingan 1970-yillarda tez sur'atlar bilan ishlab chiqilgan sirtni tozalashning yangi texnologiyasidir. Bu bug'lanish manbasini yoki püskürtmeyi ishlatish jarayonini anglatadi. vakuum atmosferasida plyonka materialini bug'lash yoki sochish maqsadi.
Birinchisi, gaz chiqarish plazmasidagi metall bug'iga va yuqori energiyali neytral atomlarga qisman ionlangan va elektr maydonining ta'sirida plyonka hosil qilish uchun substratga etib boradigan plyonka materialini isitish va bug'lash orqali metall bug'ini hosil qilishdir. ;ikkinchisi yuqori energiyali ionlardan foydalanadi (masalan, Ar +) plyonka materialining sirtini bombardimon qiladi, shunda purkalgan zarralar gaz chiqarish bo'shlig'i orqali ionlarga yoki yuqori energiyali neytral atomlarga ionlanadi va substrat yuzasini amalga oshiradi. film hosil qilish.
Ushbu maqola ishlab chiqaruvchi Guangdong Zhenhua tomonidan nashr etilganvakuumli qoplama uskunalari
Yuborilgan vaqt: 2023-yil 10-mart