Vakuumli ion qoplamasi (qisqacha ion qoplamasi) - bu 1970-yillarda tez rivojlangan yangi sirtni tozalash texnologiyasi bo'lib, u 1963-yilda Qo'shma Shtatlardagi Somdia kompaniyasining DM Mattox tomonidan taklif qilingan. Bu vakuum atmosferasida plyonka materialini bug'lantirish yoki purkash uchun bug'lanish manbai yoki purkash nishonidan foydalanish jarayonini anglatadi.
Birinchisi, gaz chiqarish plazmasidagi qisman metall bug'iga va yuqori energiyali neytral atomlarga ionlangan plyonka materialini isitish va bug'lantirish orqali metall bug'ini hosil qilishdir va elektr maydoni ta'sirida plyonka hosil qilish uchun substratga yetib boradi; ikkinchisi yuqori energiyali ionlardan (masalan, Ar+) foydalanib, plyonka materialining yuzasini bombardimon qiladi, shunda purkalgan zarralar gaz chiqarish maydoni orqali ionlarga yoki yuqori energiyali neytral atomlarga ionlanadi va substrat yuzasini plyonka hosil qilish uchun amalga oshiradi.
Ushbu maqola ishlab chiqaruvchi Guangdong Zhenhua tomonidan nashr etilganvakuumli qoplama uskunalari
Nashr vaqti: 2023-yil 10-mart