Пӯшиши ионии вакуумӣ (ихтисоран пӯшиши ионӣ) як технологияи нави коркарди сатҳ аст, ки дар солҳои 1970-ум босуръат таҳия шудааст ва соли 1963 аз ҷониби Д.М. Маттокс аз ширкати Somdia дар Иёлоти Муттаҳида пешниҳод шудааст. Он ба раванди истифодаи манбаи бухоршавӣ ё ҳадафи пошидани маводи плёнка дар атмосфераи вакуумӣ ишора мекунад.
Аввалинаш ин тавлиди буғи металл тавассути гарм кардан ва бухор кардани маводи плёнка мебошад, ки қисман ба буғи металлӣ ва атомҳои бетарафи энергияи баланд дар фазои плазмаи ихроҷи газ ионизатсия мешавад ва ба субстрат мерасад, то тавассути таъсири майдони электрикӣ плёнка ташкил кунад; дуюмӣ аз ионҳои энергияи баланд (масалан, Ar+) истифода мебарад, то ки зарраҳои пошидашуда тавассути фазои ихроҷи газ ба ионҳо ё атомҳои бетарафи энергияи баланд ионизатсия шаванд ва сатҳи субстратро барои ташкили плёнка амалӣ кунанд.
Ин мақола аз ҷониби ширкати Guangdong Zhenhua, истеҳсолкунанда нашр шудааст.таҷҳизоти пӯшонидани вакуумӣ
Вақти нашр: 10 марти соли 2023