Is teicneolaíocht cóireála dromchla nua é plating ian folúis (plátáil ian le haghaidh gearr) a fhorbraítear go tapa sna 1970í, a mhol DM Mattox of Somdia Company sna Stáit Aontaithe i 1963. Tagraíonn sé don phróiseas úsáid a bhaint as foinse galú nó sputtering. sprioc chun an t-ábhar scannáin a ghalú nó a sputter san atmaisféar bhfolús.
Is é an chéad cheann gal miotail a ghiniúint trí ábhar an scannáin a théamh agus a ghalú, atá ianaithe go páirteach i gal miotail agus adaimh neodracha ardfhuinnimh sa spás plasma urscaoilte gáis, agus sroicheann sé an tsubstráit chun scannán a fhoirmiú trí ghníomhaíocht an réimse leictrigh. ;úsáideann an dara ceann iain ardfhuinnimh (Mar shampla, Ar +) bombards dromchla an ábhair scannáin ionas go mbeidh na cáithníní sputtered ianaithe isteach iain nó adaimh ard-fhuinnimh neodrach trí spás an urscaoilte gáis, agus réadaíonn an dromchla an tsubstráit. scannán a chumadh.
Tá an t-alt seo foilsithe ag Guangdong Zhenhua, monaróir detrealamh sciath bhfolús
Am poist: Mar-10-2023