वैक्यूम आयन प्लेटिंग (संक्षेप में आयन प्लेटिंग) एक नई सतह उपचार तकनीक है जिसका 1970 के दशक में तेजी से विकास हुआ, जिसे 1963 में संयुक्त राज्य अमेरिका की सोमडिया कंपनी के डीएम मैटॉक्स द्वारा प्रस्तावित किया गया था। यह वाष्पीकरण स्रोत या स्पटरिंग लक्ष्य का उपयोग करके निर्वात वातावरण में फिल्म सामग्री को वाष्पीकृत या स्पटर करने की प्रक्रिया को संदर्भित करता है।
पहली विधि में फिल्म सामग्री को गर्म करके और वाष्पीकृत करके धातु वाष्प उत्पन्न की जाती है, जो गैस डिस्चार्ज प्लाज्मा क्षेत्र में आंशिक रूप से धातु वाष्प और उच्च-ऊर्जा वाले उदासीन परमाणुओं में आयनित हो जाती है, और विद्युत क्षेत्र की क्रिया द्वारा सब्सट्रेट तक पहुँचकर एक फिल्म बनाती है; दूसरी विधि में उच्च-ऊर्जा वाले आयनों (उदाहरण के लिए, Ar+) का उपयोग फिल्म सामग्री की सतह पर बमबारी करने के लिए किया जाता है, जिससे स्पटर किए गए कण गैस डिस्चार्ज क्षेत्र के माध्यम से आयनों या उच्च-ऊर्जा वाले उदासीन परमाणुओं में आयनित हो जाते हैं, और सब्सट्रेट की सतह पर एक फिल्म का निर्माण करते हैं।
यह लेख ग्वांगडोंग झेनहुआ द्वारा प्रकाशित किया गया है, जो एक निर्माता है।वैक्यूम कोटिंग उपकरण
पोस्ट करने का समय: 10 मार्च 2023

