Вакуум-ион белән каплау (кыскача ион белән каплау) - 1970 елларда тиз үсеш алган яңа өслек эшкәртү технологиясе, ул 1963 елда АКШта Somdia компаниясеннән Д.М. Маттокс тарафыннан тәкъдим ителгән. Ул вакуум атмосферасында пленка материалын парга әйләндерү яки сиптерү өчен парга әйләндерү чыганагын яки сиптерү максатын куллану процессын аңлата.
Беренчесе - пленка материалын җылыту һәм парга әйләндерү юлы белән металл парын булдыру, ул өлешчә газ разряд плазма киңлегендә металл парына һәм югары энергияле нейтраль атомнарга ионлаша һәм электр кыры тәэсире аша пленка формалаштыру өчен субстратка барып җитә; икенчесе югары энергияле ионнарны (мәсәлән, Ar+) куллана, шуның белән сиптерелгән кисәкчәләр газ разряд киңлеге аша ионнарга яки югары энергияле нейтраль атомнарга ионлаша һәм субстрат өслегендә пленка формалаштыра.
Бу мәкалә җитештерүче Гуандун Чжэньхуа тарафыннан бастырылган.вакуум каплау җиһазлары
Бастырып чыгару вакыты: 2023 елның 10 марты