Mkpuchi ion vacuum (n'ụzọ dị mkpirikpi, mkpụchi ion) bụ teknụzụ ọhụrụ maka ọgwụgwọ elu nke e mepụtara ngwa ngwa n'afọ 1970, nke DM Mattox nke Somdia Company na United States tụrụ aro na 1963. Ọ na-ezo aka na usoro nke iji isi iyi evaporation ma ọ bụ ihe mgbaru ọsọ sputtering iji kpochapu ma ọ bụ fesa ihe nkiri ahụ n'ime ikuku vacuum.
Nke mbụ bụ imepụta uzuoku ígwè site na ikpo ọkụ na ịfụ ihe nkiri ahụ, nke a na-agbanwe akụkụ ya ka ọ bụrụ uzuoku ígwè na atọm na-anọpụ iche dị elu n'ime oghere plasma nke gas na-ewepụta, ma rute na substrate iji mepụta fim site na ọrụ nke ubi eletriki; nke ikpeazụ na-eji ion ike dị elu (Dịka ọmụmaatụ, Ar+) na-atụba elu ihe nkiri ahụ ka ihe ndị a na-agbasa wee ghọọ ion ma ọ bụ atọm na-anọpụ iche dị elu site na oghere nke gas na-ewepụta, wee hụ elu nke substrate ahụ ka ọ mepụta fim.
Guangdong Zhenhua, onye na-emepụta ihe na-ebipụta akụkọ aakụrụngwa mkpuchi agụụ
Oge ozi: Maachị-10-2023