Vakuumsko ionsko polaganje (skraćeno ionsko prevlačenje) je nova tehnologija površinske obrade koja se brzo razvila 1970-ih, koju je predložio DM Mattox iz kompanije Somdia u Sjedinjenim Državama 1963. godine. Odnosi se na proces korištenja izvora isparavanja ili raspršivanja cilj da ispari ili rasprši filmski materijal u vakuumskoj atmosferi.
Prvi je generiranje metalne pare zagrijavanjem i isparavanjem filmskog materijala, koji je djelomično ioniziran u metalnu paru i visokoenergetske neutralne atome u plazma prostoru koji se izbacuje iz plina, te dopire do supstrata kako bi formirao film djelovanjem električnog polja. ;potonji koristi visokoenergetske ione (na primjer, Ar+) bombardira površinu filmskog materijala tako da se raspršene čestice ioniziraju u ione ili visokoenergetske neutralne atome kroz prostor plinskog pražnjenja, te ostvaruju površinu supstrata da formiram film.
Ovaj članak je objavio Guangdong Zhenhua, proizvođačoprema za vakuumsko premazivanje
Vrijeme objave: Mar-10-2023