व्हॅक्यूम आयन प्लेटिंग (थोडक्यात आयन प्लेटिंग) हे एक नवीन पृष्ठभाग प्रक्रिया तंत्रज्ञान आहे, जे १९७० च्या दशकात वेगाने विकसित झाले. याचा प्रस्ताव १९६३ मध्ये अमेरिकेतील सोमडिया कंपनीचे डी. एम. मॅटॉक्स यांनी मांडला होता. यामध्ये व्हॅक्यूम (निर्वात) वातावरणात बाष्पीभवन स्रोत किंवा स्पटरिंग टार्गेटचा वापर करून फिल्म मटेरियलचे बाष्पीभवन किंवा स्पटरिंग करण्याची प्रक्रिया समाविष्ट आहे.
पहिल्या पद्धतीत, फिल्म मटेरियलला उष्णता देऊन आणि त्याचे बाष्पीभवन करून धातूची वाफ तयार केली जाते, जी गॅस डिस्चार्ज प्लाझ्मा स्पेसमध्ये अंशतः आयनीकृत होऊन धातूची वाफ आणि उच्च-ऊर्जा न्यूट्रल अणूंमध्ये रूपांतरित होते, आणि विद्युत क्षेत्राच्या क्रियेद्वारे सब्सट्रेटपर्यंत पोहोचून फिल्म तयार करते; दुसऱ्या पद्धतीत, उच्च-ऊर्जा आयन (उदाहरणार्थ, Ar+) फिल्म मटेरियलच्या पृष्ठभागावर आदळवले जातात, जेणेकरून स्फुटित झालेले कण गॅस डिस्चार्जच्या स्पेसद्वारे आयन किंवा उच्च-ऊर्जा न्यूट्रल अणूंमध्ये आयनीकृत होतात आणि सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर फिल्म तयार होते.
हा लेख ग्वांगडोंग झेनहुआ या उत्पादकाने प्रकाशित केला आहे.व्हॅक्यूम कोटिंग उपकरणे
पोस्ट करण्याची वेळ: १० मार्च २०२३