ۋاكۇئۇم ئىئون تەخسىسى (قىسقىچە ئىئون تاختا) 20-ئەسىرنىڭ 70-يىللىرىدا تېز تەرەققىي قىلغان يېڭى يۈزنى بىر تەرەپ قىلىش تېخنىكىسى بولۇپ ، ئۇ 1963-يىلى ئامېرىكىدىكى سومدىيا شىركىتىنىڭ DM Mattox تەرىپىدىن ئوتتۇرىغا قويۇلغان. ئۇ پارلىنىش مەنبەسىنى ئىشلىتىش ياكى پۈركۈش جەريانىنى كۆرسىتىدۇ. نىشاننى ۋاكۇئۇم ئاتموسفېراسىدىكى پارغا ئايلاندۇرۇش ياكى پۈركۈشنى نىشان قىلىدۇ.
ئالدىنقىسى مېتال ماتېرىياللىرىنى قىزىتىش ۋە پارغا ئايلاندۇرۇش ئارقىلىق مېتال ھور ھاسىل قىلىش بولۇپ ، ئۇ گاز قويۇپ بېرىش پلازمىسى بوشلۇقىدىكى مېتال ھور ۋە يۇقىرى ئېنېرگىيىلىك نېيترال ئاتومغا قىسمەن ئىئونلانغان بولۇپ ، ئېلېكتر مەيدانىنىڭ ھەرىكىتى ئارقىلىق ئاستىرتۇسقا يېتىپ كىنو ھاسىل قىلىدۇ. ;كېيىنكىسى يۇقىرى ئېنېرگىيىلىك ئىئونلارنى ئىشلىتىدۇ (مەسىلەن ، Ar +) فىلىم ماتېرىيالىنىڭ يۈزىنى بومباردىمان قىلىدۇ ، بۇنىڭ بىلەن پۈركۈلگەن زەررىچىلەر گاز قويۇپ بېرىش بوشلۇقى ئارقىلىق ئىئون ياكى يۇقىرى ئېنېرگىيىلىك نېيترال ئاتومغا ئايلىنىدۇ ۋە يەر ئاستى سۈيىنىڭ يۈزىنى ھېس قىلىدۇ. فىلىم ئىشلەش.
بۇ ماقالە ئىشلەپچىقارغۇچى گۇاڭدۇڭ جېنخۇا تەرىپىدىن نەشر قىلىنغانۋاكۇئۇم سىرلاش ئۈسكۈنىسى
يوللانغان ۋاقتى: Mar-10-2023