ۋاكۇئۇم ئىئون قاپلاش (قىسقارتىلىپ ئىئون قاپلاش دەپ ئاتىلىدۇ) 1970-يىللاردا تېز سۈرئەتتە تەرەققىي قىلدۇرۇلغان يېڭى بىر خىل يۈزە بىر تەرەپ قىلىش تېخنىكىسى بولۇپ، 1963-يىلى ئامېرىكىدىكى Somdia شىركىتىنىڭ DM Mattox تەرىپىدىن ئوتتۇرىغا قويۇلغان. ئۇ پارغا ئايلىنىش مەنبەسى ياكى پۈركۈش نىشانى ئارقىلىق ۋاكۇئۇم ئاتموسفېراسىدا پىلاستىنكا ماتېرىيالىنى پارغا ئايلىنىش ياكى پۈركۈش جەريانىنى كۆرسىتىدۇ.
بىرىنچىسى، پىلاستىنكا ماتېرىيالىنى قىزىتىش ۋە پارغا ئايلاندۇرۇش ئارقىلىق مېتال پار ھاسىل قىلىش بولۇپ، پىلاستىنكا گاز چىقىرىش پلازما بوشلۇقىدا قىسمەن مېتال پار ۋە يۇقىرى ئېنېرگىيىلىك نېيترال ئاتوملارغا ئىئونلىنىدۇ ۋە ئېلېكتر مەيدانىنىڭ تەسىرى ئارقىلىق ئاساسىي قاتلامغا يېتىپ بېرىپ پىلاستىنكا ھاسىل قىلىدۇ؛ ئىككىنچىسى يۇقىرى ئېنېرگىيىلىك ئىئونلارنى (مەسىلەن، Ar+) ئىشلىتىپ، پىلاستىنكا ماتېرىيالىنىڭ يۈزىنى بومباردىمان قىلىدۇ، شۇنداق قىلىپ چاچرىغان زەررىچىلەر گاز چىقىرىش بوشلۇقى ئارقىلىق ئىئونلارغا ياكى يۇقىرى ئېنېرگىيىلىك نېيترال ئاتوملارغا ئىئونلىشىدۇ ۋە ئاساسىي قاتلامنىڭ يۈزىنى پىلاستىنكا ھاسىل قىلىدۇ.
بۇ ماقالە ئىشلەپچىقارغۇچى گۇاڭدۇڭ جېنخۇا تەرىپىدىن نەشر قىلىندى.ۋاكۇئۇم قاپلاش ئۈسكۈنىلىرى
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2023-يىلى 3-ئاينىڭ 10-كۈنى

