ʻO ka Vacuum ion plating (ion plating no ka pōkole) kahi ʻenehana lapaʻau ʻili hou i hoʻomohala koke ʻia i nā makahiki 1970, i hāpai ʻia e DM Mattox o Somdia Company ma ʻAmelika Hui Pū ʻIa i ka makahiki 1963. Pili ia i ke kaʻina hana o ka hoʻohana ʻana i ke kumu hoʻoheheʻe a i ʻole ka pahuhopu sputtering e hoʻoheheʻe a sputter paha i ka mea kiʻiʻoniʻoni i loko o ka lewa vacuum.
ʻO ka mea mua, ʻo ia ka hana ʻana i ka mahu metala ma ka hoʻomehana ʻana a me ka hoʻoheheʻe ʻana i ka mea kiʻiʻoniʻoni, kahi i hoʻokaʻawale ʻia i loko o ka mahu metala a me nā ʻātoma neutral ikehu kiʻekiʻe i loko o ka wahi plasma hoʻokuʻu kinoea, a hiki i ka substrate e hana i kahi kiʻiʻoniʻoni ma o ka hana o ke kahua uila; hoʻohana ka mea hope i nā ion ikehu kiʻekiʻe (No ka laʻana, ʻo Ar +) e hoʻopōkā i ka ʻili o ka mea kiʻiʻoniʻoni i mea e hoʻokaʻawale ʻia ai nā ʻāpana sputtered i loko o nā ion a i ʻole nā ʻātoma neutral ikehu kiʻekiʻe ma o ka hakahaka o ka hoʻokuʻu kinoea, a ʻike i ka ʻili o ka substrate e hana i kahi kiʻiʻoniʻoni.
Ua paʻi ʻia kēia ʻatikala e Guangdong Zhenhua, kahi mea hana onā lako hana uhi vacuum
Ka manawa hoʻouna: Malaki-10-2023