Dahaarka ion-ka faakuumka (dahaarka ion-ka marka la soo gaabiyo) waa tignoolajiyad cusub oo lagu daweeyo dusha sare oo si degdeg ah loo sameeyay 1970-yadii, taas oo uu soo jeediyay DM Mattox oo ka tirsan Shirkadda Somdia ee Mareykanka sannadkii 1963. Waxay tilmaamaysaa habka loo isticmaalo ilaha uumiga ama bartilmaameedka buufinta si loo uumi bixiyo ama loo tufo walxaha filimka ee jawiga faakuumka.
Tan hore waa in la soo saaro uumi bir ah iyadoo la kululeynayo oo uumi bixinayo walxaha filimka, kuwaas oo qayb ahaan ion ahaan loo beddelayo uumi bir ah iyo atamka dhexdhexaadka ah ee tamarta sare leh ee ku jira booska plasma-ga ee gaaska ka soo baxa, waxayna gaaraan substrate-ka si ay u sameeyaan filim iyada oo loo marayo ficilka goobta korontada; tan dambe waxay isticmaashaa aayada tamarta sare leh (Tusaale ahaan, Ar+) waxay duqaysaa dusha sare ee walxaha filimka si walxaha la buufiyay loogu beddelo aayada ama atamka dhexdhexaadka ah ee tamarta sare leh iyada oo loo marayo booska dheecaanka gaaska, oo ay u suurtageliso dusha sare ee substrate-ka si loo sameeyo filim.
Maqaalkan waxaa daabacay Guangdong Zhenhua, oo ah soo saare ka tirsan shirkaddaqalabka dahaadhka faakuumka
Waqtiga boostada: Maarso-10-2023