Vacuum ion plating (í stuttu máli jónahúðun) er ný yfirborðsmeðferðartækni sem er þróuð hratt á áttunda áratugnum, sem DM Mattox frá Somdia Company í Bandaríkjunum lagði til árið 1963. Hún vísar til þess ferlis að nota uppgufunargjafa eða sputtering. skotmark til að gufa upp eða sprauta filmuefnið í lofttæmi.
Hið fyrra er að mynda málmgufu með því að hita og gufa upp filmuefnið, sem er að hluta jónað í málmgufu og háorku hlutlaus frumeindir í gaslosunarplasmarýminu og nær undirlaginu til að mynda filmu með virkni rafsviðsins ;hið síðarnefnda notar háorkujónir (T.d. Ar+) sprengir yfirborð filmuefnisins þannig að sputtered agnirnar eru jónaðar í jónir eða háorku hlutlausar atóm í gegnum rými gaslosunar, og átta sig á yfirborði undirlagsins. að mynda kvikmynd.
Þessi grein er gefin út af Guangdong Zhenhua, framleiðandatómarúmhúðunarbúnaður
Pósttími: Mar-10-2023