Wakuum ion örtügi (gysgaça ion örtük) 1970-nji ýyllarda çalt ösen täze ýerüsti bejeriş tehnologiýasy bolup, 1963-nji ýylda ABŞ-da Somdia kompaniýasynyň DM Mattox tarapyndan teklip edildi. Bu wakuum atmosferasyndaky film materialyny bugarmak ýa-da dökmek üçin bugarmak çeşmesini ýa-da pytraňňy nyşany ulanmak prosesine degişlidir.
Birinjisi, gaz çykaryjy plazma giňişliginde metal buglara we ýokary energiýa bitarap atomlara bölekleýin ionlaşdyrylan we elektrik meýdanynyň üsti bilen film döretmek üçin substrata ýetýän film materialyny gyzdyrmak we bugarmak arkaly metal bug öndürmek; ikinjisi ýokary energiýa ionlaryny ulanýar (Mysal üçin, Ar +) film materialynyň üstüni bombalaýar, şonuň üçin dökülen bölejikler gazyň boşlugynyň üsti bilen ionlara ýa-da ýokary energiýa bitarap atomlara bölünip, film döretmek üçin substratyň ýüzüne düşüner.
Bu makala öndüriji Guangdong Zhenhua tarapyndan neşir edildivakuum örtük enjamlary
Iş wagty: Mart-10-2023