Hepimiziň bilşimiz ýaly, ýarymgeçirijileriň kesgitlemesi, gurak geçirijiler bilen izolýatorlaryň arasynda geçirijilige eýe bolmagydyr, metal bilen izolýatoryň arasyndaky garşylyk, adatça otagyň temperaturasynda 1mΩ-sm ~ 1GΩ-sm aralygynda bolýar. Soňky ýyllarda esasy ýarymgeçiriji kompaniýalarynda wakuum ýarymgeçiriji örtügi, esasanam magnetoelektriki öwrüliş enjamlaryna, ýagtylyk çykaryjy enjamlara we beýleki ösüş işlerine çenli käbir uly möçberli integrasiýa ulgam shemalaryny işläp düzmek tehnologiýasyny öwrenmek usullarynda onuň statusynyň barha ýokary bolýandygy aýdyňdyr. Wakuum ýarymgeçiriji örtügi möhüm rol oýnaýar.
Ýarymgeçirijiler özleriniň içki häsiýetnamalary, temperaturasy we garyndy konsentrasiýasy bilen häsiýetlendirilýär. Wakuum ýarymgeçiriji örtük materiallary biri-birinden, esasan, onuň düzüm bölekleri bilen tapawutlanýar. Takmynan hemmesi bor, uglerod, kremniý, germaniýa, mysýak, surma, tellur, ýod we ş.m. esaslanýar, käbirleri bolsa deňeşdirme boýunça az GaP, GaAs, lnSb we ş.m.-den ybaratdyr. Şeýle hem FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O we ş.m. ýaly käbir oksid ýarymgeçirijiler bar.
Wakuum buharlandyrma, püskürtme örtügi, ion örtügi we beýleki enjamlar wakuum ýarymgeçiriji örtügini edip biler. Bu örtük enjamlarynyň hemmesi iş prinsipi boýunça tapawutlanýar, ýöne olaryň hemmesi ýarymgeçiriji material örtük materialyny substrata ýerleşdirýär we substratyň materialy hökmünde onuň ýarymgeçiriji bolup biljekdigi ýa-da bolup bilmejekdigi talap edilmeýär. Mundan başga-da, dürli elektrik we optiki häsiýetlere eýe bolan örtükler ýarymgeçiriji substratyň ýüzüne belli bir aralykda garyndy diffuziýasy we ion implantasiýa arkaly taýýarlanyp bilner. Netijede dörän inçe gatlak, umuman, ýarymgeçiriji örtük hökmünde hem işläp bilner.
Wakuum ýarymgeçiriji örtük, aktiw ýa-da passiw enjamlar üçin bolsun, elektronikada aýrylmaz zatdyr. Wakuum ýarymgeçiriji örtük tehnologiýasynyň yzygiderli ösmegi bilen, plýonkanyň işini takyk dolandyrmak mümkin boldy.
Soňky ýyllarda amorf örtük we polikristal örtük fotogeçiriji enjamlaryň, örtülen meýdan effektli turbalaryň we ýokary netijeli gün batareýalarynyň önümçiliginde çalt ösüş gazandy. Mundan başga-da, wakuum ýarymgeçiriji örtüginiň we sensorlaryň inçe plýonkasynyň işlenip düzülmegi sebäpli, bu hem material saýlamagyň kynçylygyny ep-esli azaldýar we önümçilik prosesini kem-kemden ýönekeýleşdirýär. Wakuum ýarymgeçiriji örtük enjamlary ýarymgeçiriji ulanylyşlar üçin zerur bir zada öwrüldi. Bu enjamlar kamera enjamlarynyň, gün batareýalarynyň, örtülen tranzistorlaryň, meýdan emissiýasynyň, katod-yşygyň, elektron emissiýasynyň, inçe plýonka duýujy elementleriň we ş.m. ýarymgeçiriji örtügi üçin giňden ulanylýar.
Magnetron püskürtme örtük liniýasy doly awtomatiki dolandyryş ulgamy, amatly we düşnükli sensor ekranly adam-maşyn interfeýsi bilen döredildi. Liniýa önümçilik liniýasynyň ähli bölekleriniň iş ýagdaýyna, proses parametrleriniň sazlamalaryna, iş goragyna we signalizasiýa funksiýalaryna doly gözegçilik etmek üçin doly funksiýa menýusy bilen döredildi. Tutuş elektrik dolandyryş ulgamy howpsuz, ygtybarly we durnuklydyr. Ýokarky we aşaky iki taraply magnetron püskürtme nyşany ýa-da bir taraply örtük ulgamy bilen enjamlaşdyrylan.
Enjamlar esasan keramiki zynjyr platalaryna, çipli ýokary woltly kondensatorlara we beýleki substrat örtüklerine ulanylýar, esasy ulanylyş ugurlary elektron zynjyr platalarydyr.
Ýerleşdirilen wagty: 2022-nji ýylyň 7-nji noýabry