Seperti yang kita semua tahu, definisi semikonduktor ialah ia mempunyai kekonduksian antara konduktor kering dan penebat, dan kerintangan antara logam dan penebat, yang biasanya pada suhu bilik, berada dalam julat 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm. Dalam beberapa tahun kebelakangan ini, salutan semikonduktor vakum dalam syarikat semikonduktor utama, jelas bahawa statusnya semakin tinggi, terutamanya dalam beberapa kaedah penyelidikan teknologi pembangunan litar sistem bersepadu berskala besar untuk peranti penukaran magnetoelektrik, peranti pemancar cahaya dan kerja pembangunan lain. Salutan semikonduktor vakum memainkan peranan penting.
Semikonduktor dicirikan oleh ciri-ciri intrinsik, suhu dan kepekatan bendasingnya. Bahan salutan semikonduktor vakum dibezakan antara satu sama lain terutamanya oleh sebatian konstituennya. Secara kasarnya semuanya berasaskan boron, karbon, silikon, germanium, arsenik, antimoni, telurium, iodin, dan sebagainya, dan sebahagiannya agak sedikit GaP, GaAs, lnSb, dan sebagainya. Terdapat juga beberapa semikonduktor oksida, seperti FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O, dan sebagainya.
Penyejatan vakum, salutan percikan, salutan ion dan peralatan lain boleh melakukan salutan semikonduktor vakum. Peralatan salutan ini semuanya berbeza dari segi prinsip kerjanya, tetapi semuanya menjadikan bahan salutan semikonduktor dimendapkan pada substrat, dan sebagai bahan substrat, tidak ada keperluan, ia boleh menjadi semikonduktor atau tidak. Di samping itu, salutan dengan sifat elektrik dan optik yang berbeza boleh disediakan melalui resapan bendasing dan implantasi ion pada permukaan substrat semikonduktor dalam julat. Lapisan nipis yang terhasil juga boleh diproses sebagai salutan semikonduktor secara umum.
Salutan semikonduktor vakum merupakan satu kewujudan yang sangat penting dalam elektronik sama ada untuk peranti aktif atau pasif. Dengan kemajuan berterusan teknologi salutan semikonduktor vakum, kawalan prestasi filem yang tepat telah menjadi mungkin.
Dalam beberapa tahun kebelakangan ini, salutan amorfus dan salutan polikristalin telah mencapai kemajuan pesat dalam pembuatan peranti fotokonduktif, tiub kesan medan bersalut, dan sel suria berkecekapan tinggi. Di samping itu, disebabkan oleh perkembangan salutan semikonduktor vakum dan filem nipis sensor, yang juga mengurangkan kesukaran pemilihan bahan dengan ketara dan menjadikan proses pembuatan secara beransur-ansur dipermudahkan. Peralatan salutan semikonduktor vakum telah menjadi kehadiran yang diperlukan untuk aplikasi semikonduktor. Peralatan ini digunakan secara meluas untuk salutan semikonduktor peranti kamera, sel suria, transistor bersalut, pancaran medan, cahaya katod, pancaran elektron, elemen pengesan filem nipis, dan sebagainya.
Barisan salutan magnetron sputtering direka bentuk dengan sistem kawalan automatik sepenuhnya, antara muka manusia-mesin skrin sentuh yang mudah dan intuitif. Barisan ini direka bentuk dengan menu fungsi lengkap untuk mencapai pemantauan penuh status operasi untuk keseluruhan komponen barisan pengeluaran, tetapan parameter proses, perlindungan operasi dan fungsi penggera. Keseluruhan sistem kawalan elektrik adalah selamat, andal dan stabil. Dilengkapi dengan sasaran magnetron sputtering dua sisi atas dan bawah atau sistem salutan satu sisi.
Peralatan ini terutamanya digunakan untuk papan litar seramik, kapasitor voltan tinggi cip dan salutan substrat lain, kawasan aplikasi utama adalah papan litar elektronik.
Masa siaran: 07 Nov-2022