Баарыбызга белгилүү болгондой, жарым өткөргүчтүн аныктамасы кургак өткөргүчтөр менен изоляторлордун ортосундагы өткөрүмдүүлүккө ээ, ал эми металл менен изолятордун ортосундагы каршылык, адатта бөлмө температурасында 1мΩ-см ~ 1GΩ-см диапазонунда болот. Акыркы жылдары ири жарым өткөргүч компанияларында вакуумдук жарым өткөргүч каптоо, анын статусу барган сайын жогорулап баратканы айдан ачык, айрыкча магнитоэлектрдик конвертациялоочу түзүлүштөргө, жарык чыгаруучу түзүлүштөргө жана башка иштеп чыгуу иштерине чейинки кээ бир ири масштабдуу интегралдык системалык схемаларды иштеп чыгуу технологиясын изилдөө ыкмаларында. Вакуумдук жарым өткөргүч каптоо маанилүү ролду ойнойт.
Жарым өткөргүчтөр өздөрүнүн ички мүнөздөмөлөрү, температурасы жана кошулмалардын концентрациясы менен мүнөздөлөт. Вакуумдук жарым өткөргүч каптоо материалдары бири-биринен негизинен анын курамындагы кошулмалар менен айырмаланат. Болжол менен бардыгы борго, көмүртекке, кремнийге, германийге, мышьякка, сурьмага, теллурга, йодго ж.б., ал эми айрымдары салыштырмалуу аз GaP, GaAs, lnSb ж.б. негизделген. Ошондой эле FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O ж.б. сыяктуу кычкыл жарым өткөргүчтөр бар.
Вакуумдук буулантуу, чачыратуу менен каптоо, иондук каптоо жана башка жабдуулар вакуумдук жарым өткөргүч каптоону жасай алат. Бул каптоо жабдууларынын иштөө принциби ар башка, бирок алардын баары жарым өткөргүч материалды негизге чөктүрөт жана негиздин материалы катары ал жарым өткөргүч болушу же болбошу керек деген талап жок. Мындан тышкары, ар кандай электрдик жана оптикалык касиеттерге ээ каптоолорду жарым өткөргүч негиздин бетине аралашманын диффузиясы жана ион имплантациясы аркылуу белгилүү бир диапазондо даярдоого болот. Натыйжада пайда болгон жука катмарды жалпысынан жарым өткөргүч каптоо катары да иштетүүгө болот.
Вакуумдук жарым өткөргүч каптоо электроникада, активдүү же пассивдүү түзмөктөр үчүн болсун, сөзсүз түрдө зарыл нерсе. Вакуумдук жарым өткөргүч каптоо технологиясынын тынымсыз өнүгүшү менен пленканын иштешин так көзөмөлдөө мүмкүн болду.
Акыркы жылдары аморфтук каптоо жана поликристаллдык каптоо фотоөткөргүч түзүлүштөрдү, капталган талаа эффектиси бар түтүктөрдү жана жогорку натыйжалуу күн батареяларын өндүрүүдө тездик менен ийгиликтерге жетишти. Мындан тышкары, вакуумдук жарым өткөргүч каптоонун жана сенсорлордун жука пленкасынын өнүгүшүнүн аркасында материалды тандоонун кыйынчылыгын бир топ азайтып, өндүрүш процессин акырындык менен жөнөкөйлөтүүгө жетишти. Вакуумдук жарым өткөргүч каптоо жабдуулары жарым өткөргүч колдонмолор үчүн зарыл нерсеге айланды. Бул жабдуулар камера түзмөктөрүн, күн батареяларын, капталган транзисторлорду, талаа эмиссиясын, катоддук жарыкты, электрон эмиссиясын, жука пленка сезгич элементтерди ж.б. жарым өткөргүч каптоо үчүн кеңири колдонулат.
Магнетрондук чачыратуучу каптоо линиясы толугу менен автоматтык башкаруу системасы, ыңгайлуу жана интуитивдик сенсордук экрандуу адам-машина интерфейси менен иштелип чыккан. Линия бүтүндөй өндүрүш линиясынын компоненттеринин иштөө абалын, процесстин параметрлерин орнотууну, иштөөнү коргоону жана сигнализация функцияларын толук көзөмөлдөө үчүн толук функция менюсу менен иштелип чыккан. Бүтүндөй электрдик башкаруу системасы коопсуз, ишенимдүү жана туруктуу. Үстүнкү жана астыңкы эки тараптуу магнетрондук чачыратуучу бута же бир тараптуу каптоо системасы менен жабдылган.
Жабдуулар негизинен керамикалык схемалык такталарга, чиптин жогорку чыңалуудагы конденсаторлоруна жана башка субстраттык каптоолорго колдонулат, негизги колдонуу багыттары электрондук схемалык такталар болуп саналат.
Жарыяланган убактысы: 2022-жылдын 7-ноябры