Gẹ́gẹ́ bí gbogbo wa ṣe mọ̀, ìtumọ̀ semiconductor ni pé ó ní conductivity láàárín àwọn conductors gbígbẹ àti insulators, resistance láàrín irin àti insulator, èyí tí ó sábà máa ń wà ní ìwọ̀n otútù yàrá wà láàrín 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm. Ní àwọn ọdún àìpẹ́ yìí, ìbòrí semiconductor vacuum nínú àwọn ilé-iṣẹ́ semiconductor pàtàkì, ó ṣe kedere pé ipò rẹ̀ ń ga sí i, pàápàá jùlọ nínú àwọn ọ̀nà ìwádìí ìmọ̀ ẹ̀rọ ìdàgbàsókè ètò ìṣiṣẹ́ tó tóbi sí àwọn ẹ̀rọ ìyípadà magnetoelectric, àwọn ẹ̀rọ ìtújáde ìmọ́lẹ̀ àti àwọn iṣẹ́ ìdàgbàsókè mìíràn. Ìbòrí semiconductor vacuum ní ipa pàtàkì.
Àwọn ohun èlò ìbora semiconductors ni a fi àwọn ànímọ́ wọn hàn, ìwọ̀n otútù àti àìmọ́. Àwọn ohun èlò ìbora vacuum semiconductors yàtọ̀ sí ara wọn ní pàtàkì nípasẹ̀ àwọn èròjà tí ó wà nínú wọn. Ó fẹ́rẹ̀ẹ́ jẹ́ pé gbogbo wọn ni a gbé ka boron, carbon, silicon, germanium, arsenic, antimony, tellurium, iodine, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ, àti díẹ̀ lára GaP, GaAs, lnSb, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Àwọn semiconductors oxide kan tún wà, bíi FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
Ìgbóná omi, ìbòrí ìfọ́, ìbòrí ion àti àwọn ohun èlò míràn lè ṣe ìbòrí ìfọ́. Gbogbo àwọn ohun èlò ìbòrí wọ̀nyí yàtọ̀ síra ní ìlànà iṣẹ́ wọn, ṣùgbọ́n gbogbo wọn ló ń ṣe ohun èlò ìbòrí ohun èlò semiconductor tí a gbé sórí ìbòrí náà, àti gẹ́gẹ́ bí ohun èlò ti ìbòrí náà, kò sí ohun tí a nílò, ó lè jẹ́ semiconductor tàbí bẹ́ẹ̀ kọ́. Ní àfikún, àwọn ìbòrí tí ó ní onírúurú ohun ìní iná mànàmáná àti opitika lè ṣe nípasẹ̀ ìfọ́rí ìdọ̀tí àti ìgbìn ion lórí ojú ìbòrí ìbòrí semiconductor nínú ìwọ̀n kan. A tún lè ṣe ìbòrí ìpele tín-ín-rín tí ó bá yọrí sí gẹ́gẹ́ bí ìbòrí semiconductor ní gbogbogbòò.
Ìbòrí ìfàmọ́ra jẹ́ ohun pàtàkì nínú ẹ̀rọ itanna yálà ó jẹ́ fún àwọn ẹ̀rọ tó ń ṣiṣẹ́ tàbí àwọn ẹ̀rọ tí kò ṣeé lò. Pẹ̀lú ìlọsíwájú tí ìmọ̀ ẹ̀rọ ìbòrí ìfàmọ́ra ìfàmọ́ra ìfàmọ́ra ń ní, ìṣàkóso pípéye ti iṣẹ́ fíìmù ti ṣeé ṣe.
Ní àwọn ọdún àìpẹ́ yìí, ìbòrí amorphous àti ìbòrí polycrystalline ti ní ìlọsíwájú kíákíá nínú ṣíṣe àwọn ẹ̀rọ photoconductive, àwọn páìpù ipa pápá tí a bò, àti àwọn sẹ́ẹ̀lì oòrùn tí ó ní agbára gíga. Ní àfikún, nítorí ìdàgbàsókè ìbòrí semiconductor vacuum àti fíìmù tinrin ti àwọn sensors, èyí tí ó tún dín ìṣòro yíyan ohun èlò kù gidigidi tí ó sì mú kí iṣẹ́ ṣíṣe rọrùn díẹ̀díẹ̀. Ẹ̀rọ ìbòrí semiconductor vacuum ti di wíwà pàtàkì fún àwọn ohun èlò semiconductor. A ń lo ẹ̀rọ náà fún ìbòrí semiconductor ti àwọn ẹ̀rọ kámẹ́rà, àwọn sẹ́ẹ̀lì oòrùn, àwọn transistors tí a bò, ìtújáde pápá, ìmọ́lẹ̀ cathode, ìtújáde elekitiron, àwọn èròjà sensọ fiimu tínrin, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
A ṣe apẹrẹ ila ti a fi n ṣe àkójọpọ̀ magnetron sputtering pẹlu eto iṣakoso laifọwọyi patapata, wiwo iboju ifọwọkan eniyan-ẹrọ ti o rọrun ati ti o ni oye. A ṣe apẹrẹ ila naa pẹlu akojọ aṣayan iṣẹ pipe lati ṣaṣeyọri ibojuwo kikun ti ipo iṣẹ fun gbogbo awọn paati laini iṣelọpọ, eto paramita ilana, aabo iṣẹ ati awọn iṣẹ itaniji. Gbogbo eto iṣakoso itanna jẹ ailewu, igbẹkẹle ati iduroṣinṣin. A ṣe ipese pẹlu afojusun magnetron sputtering apa meji oke ati isalẹ tabi eto ti a fi n ṣe àkójọpọ̀ apa kan.
A lo ohun elo naa fun awọn ọkọ iyipo seramiki, awọn capacitors giga-foliteji chip ati awọn ibora substrate miiran, awọn agbegbe ohun elo akọkọ jẹ awọn ọkọ iyipo elekitironiki.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù kọkànlá-07-2022