Kaya sing wis dingerteni kabeh, definisi semikonduktor yaiku nduweni konduktivitas antarane konduktor garing lan insulator, resistivitas antarane logam lan insulator, sing biasane ing suhu ruangan ana ing kisaran 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm. Ing taun-taun pungkasan, lapisan semikonduktor vakum ing perusahaan semikonduktor utama, jelas yen statuse saya dhuwur, utamane ing sawetara metode riset teknologi pangembangan sirkuit sistem terpadu skala gedhe kanggo piranti konversi magnetoelektrik, piranti pemancar cahya lan karya pangembangan liyane. Lapisan semikonduktor vakum nduweni peran penting.
Semikonduktor ditondoi dening karakteristik intrinsik, suhu, lan konsentrasi pengotor. Bahan pelapis semikonduktor vakum dibedakake siji lan sijine utamane dening senyawa penyusunnya. Kira-kira kabeh adhedhasar boron, karbon, silikon, germanium, arsenik, antimon, telurium, yodium, lan liya-liyane, lan sawetara relatif sithik GaP, GaAs, lnSb, lan liya-liyane. Ana uga sawetara semikonduktor oksida, kayata FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O, lan liya-liyane.
Penguapan vakum, lapisan sputtering, lapisan ion, lan peralatan liyane bisa nindakake lapisan semikonduktor vakum. Peralatan lapisan iki kabeh beda-beda prinsip kerjane, nanging kabeh nggawe bahan semikonduktor dadi bahan lapisan sing diendapkan ing substrat, lan minangka bahan substrat, ora ana syarat, bisa dadi semikonduktor utawa ora. Kajaba iku, lapisan kanthi sifat listrik lan optik sing beda-beda bisa disiapake kanthi difusi pengotor lan implantasi ion ing permukaan substrat semikonduktor ing kisaran tartamtu. Lapisan tipis sing diasilake uga bisa diproses minangka lapisan semikonduktor sacara umum.
Lapisan semikonduktor vakum minangka unsur sing penting banget ing elektronik, apa iku kanggo piranti aktif utawa pasif. Kanthi kemajuan teknologi lapisan semikonduktor vakum sing terus-terusan, kontrol kinerja film sing tepat wis bisa ditindakake.
Ing taun-taun pungkasan, lapisan amorf lan lapisan polikristalin wis nggawe kemajuan sing cepet ing manufaktur piranti fotokonduktif, tabung efek medan sing dilapisi, lan sel surya efisiensi dhuwur. Kajaba iku, amarga perkembangan lapisan semikonduktor vakum lan film tipis sensor, sing uga nyuda kesulitan pemilihan bahan lan nggawe proses manufaktur saya gampang. Peralatan lapisan semikonduktor vakum wis dadi prelu kanggo aplikasi semikonduktor. Peralatan kasebut akeh digunakake kanggo lapisan semikonduktor piranti kamera, sel surya, transistor sing dilapisi, emisi medan, cahya katoda, emisi elektron, elemen penginderaan film tipis, lan liya-liyane.
Jalur pelapisan magnetron sputtering dirancang nganggo sistem kontrol otomatis kanthi lengkap, antarmuka manungsa-mesin layar tutul sing trep lan intuitif. Jalur iki dirancang nganggo menu fungsi lengkap kanggo entuk pemantauan lengkap status operasi kanggo kabeh komponen jalur produksi, setelan parameter proses, proteksi operasi, lan fungsi alarm. Kabeh sistem kontrol listrik aman, andal, lan stabil. Dilengkapi target magnetron sputtering sisih ndhuwur lan ngisor utawa sistem pelapisan sisih siji.
Piranti iki utamane ditrapake kanggo papan sirkuit keramik, kapasitor voltase dhuwur chip lan lapisan substrat liyane, area aplikasi utama yaiku papan sirkuit elektronik.
Wektu kiriman: 07-Nov-2022