Jwalo ka ha re tseba kaofela, tlhaloso ya semiconductor ke hore e na le conductivity pakeng tsa di-conductor tse omileng le di-insulator, resistivity pakeng tsa tshepe le insulator, eo hangata e leng mochesong wa kamore e ka hare ho 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm. Dilemong tsa morao tjena, vacuum semiconductor coating dikhamphaning tse kgolo tsa semiconductor, ho hlakile hore boemo ba yona bo ntse bo eketseha, haholoholo mekgweng e meng e meholo ya dipatlisiso tsa ntshetsopele ya potoloho ya sistimi e kopaneng ho disebediswa tsa phetoho ya magnetoelectric, disebediswa tse ntshang lesedi le mesebetsi e meng ya ntshetsopele. Vacuum semiconductor coating e na le karolo ya bohlokwa.
Di-semiconductor di kgethollwa ka dibopeho tsa tsona tsa tlhaho, mocheso le ho se hlweke. Disebediswa tsa ho roala tsa vacuum semiconductor di kgethollwa haholo-holo ka metswako ya tsona. Hoo e ka bang kaofela di itshetlehile ka boron, carbon, silicon, germanium, arsenic, antimony, tellurium, iodine, jj., le tse ding tse fokolang tsa GaP, GaAs, lnSb, jj. Hape ho na le di-semiconductor tse ding tsa oxide, tse kang FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O, jj.
Ho mouoane ha vacuum, ho koaheloa ha sputtering, ho koaheloa ha ion le lisebelisoa tse ling li ka etsa ho koaheloa ha vacuum semiconductor. Lisebelisoa tsena tsa ho koaheloa kaofela li fapane ka mokhoa oa tsona oa ho sebetsa, empa kaofela li etsa hore thepa ea ho koaheloa ha semiconductor e behe holim'a substrate, 'me joalo ka thepa ea substrate, ha ho hlokahale, e ka ba semiconductor kapa che. Ho phaella moo, ho koaheloa ka thepa e fapaneng ea motlakase le ea optical ho ka lokisoa ka ho hasana ha litšila le ho kenngoa ha ion holim'a substrate ea semiconductor ka har'a sebaka se le seng. Lera le lesesaane le hlahang le ka boela la sebetsoa e le semiconductor coating ka kakaretso.
Sekoahelo sa semiconductor sa vacuum ke boteng ba bohlokoa ka har'a lisebelisoa tsa elektroniki ebang ke bakeng sa lisebelisoa tse sebetsang kapa tse sa sebetseng. Ka tsoelo-pele e tsoelang pele ea theknoloji ea sekoahelo sa semiconductor sa vacuum, taolo e nepahetseng ea ts'ebetso ea filimi e se e khoneha.
Lilemong tsa morao tjena, ho koahela ka mokhoa o sa fetoheng le ho koahela ka mokhoa o sa bonahaleng ho entse tsoelo-pele e potlakileng tlhahisong ea lisebelisoa tse tsamaisang motlakase, liphaephe tse koahetsoeng ka phello ea tšimo, le lisele tsa letsatsi tse sebetsang hantle haholo. Ho phaella moo, ka lebaka la nts'etsopele ea ho koahela ka mokhoa o sa bonahaleng oa vacuum le filimi e tšesaane ea li-sensor, e leng se fokotsang bothata ba khetho ea thepa haholo 'me se etsa hore ts'ebetso ea tlhahiso e nolofatsoe butle-butle. Lisebelisoa tsa ho koahela ka mokhoa o sa bonahaleng oa vacuum se fetohile boteng bo hlokahalang bakeng sa lits'ebetso tsa semiconductor. Lisebelisoa li sebelisoa haholo bakeng sa ho koahela ka mokhoa o sa bonahaleng oa lisebelisoa tsa khamera, lisele tsa letsatsi, li-transistors tse koahetsoeng, tlhahiso ea tšimo, khanya ea cathode, tlhahiso ea elektrone, likarolo tse tšesaane tsa ho lemoha filimi, jj.
Mohala oa ho roala oa magnetron sputtering o entsoe ka sistimi ea taolo e iketsang ka botlalo, sebopeho se bonolo le se utloahalang sa skrine ea ho ama ea motho le mochini. Mohala o entsoe ka lenane la mesebetsi e felletseng ho fihlella tlhokomelo e felletseng ea boemo ba ts'ebetso bakeng sa likarolo tsohle tsa mola oa tlhahiso, ho beha liparamente tsa ts'ebetso, ts'ireletso ea ts'ebetso le mesebetsi ea alamo. Sistimi eohle ea taolo ea motlakase e bolokehile, ea tšepahala ebile e tsitsitse. E hlomelitsoe ka sepheo sa ho roala sa magnetron se nang le mahlakore a mabeli se kaholimo le se ka tlase kapa sistimi ea ho roala e nang le mahlakore a le mong.
Lisebelisoa li sebelisoa haholo-holo ho liboto tsa potoloho tsa ceramic, li-capacitor tsa chip-high-voltage le liaparo tse ling tsa substrate, libaka tse ka sehloohong tsa ts'ebeliso ke liboto tsa potoloho tsa elektroniki.
Nako ea poso: Pulungoana-07-2022