Sapertos anu urang terang sadayana, definisi semikonduktor nyaéta gaduh konduktivitas antara konduktor garing sareng insulator, résistansi antara logam sareng insulator, anu biasana dina suhu kamar aya dina kisaran 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm. Dina sababaraha taun ka pengker, palapis semikonduktor vakum di perusahaan semikonduktor utama, jelas yén statusna beuki luhur, khususna dina sababaraha metode panalungtikan téknologi pamekaran sirkuit sistem terpadu skala ageung pikeun alat konvérsi magnetoelektrik, alat pemancar cahaya sareng padamelan pamekaran anu sanés. Palapis semikonduktor vakum gaduh peran anu penting.
Semikonduktor dicirikeun ku ciri intrinsikna, suhu sareng konsentrasi pangotor. Bahan palapis semikonduktor vakum dibédakeun antara anu sanés utamina ku sanyawa penyusunna. Kira-kira sadayana dumasar kana boron, karbon, silikon, germanium, arsén, antimon, telurium, yodium, jsb., sareng sababaraha anu relatif sakedik GaP, GaAs, lnSb, jsb. Aya ogé sababaraha semikonduktor oksida, sapertos FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O, jsb.
Panguapan vakum, palapis sputtering, palapis ion sareng alat-alat sanésna tiasa ngalakukeun palapis semikonduktor vakum. Alat-alat palapis ieu sadayana béda dina prinsip kerjana, tapi sadayana ngajantenkeun bahan palapis semikonduktor disimpen dina substrat, sareng salaku bahan substrat, teu aya sarat, éta tiasa semikonduktor atanapi henteu. Salaku tambahan, palapis kalayan sipat listrik sareng optik anu béda tiasa disiapkeun ku cara difusi pangotor sareng implantasi ion dina permukaan substrat semikonduktor dina rentang. Lapisan ipis anu dihasilkeun ogé tiasa diolah salaku palapis semikonduktor sacara umum.
Palapis semikonduktor vakum mangrupikeun hal anu teu tiasa dipisahkeun dina éléktronika, boh pikeun alat aktif atanapi pasif. Kalayan kamajuan téknologi palapis semikonduktor vakum anu terus-terusan, kontrol kinerja pilem anu tepat parantos janten mungkin.
Dina sababaraha taun ka pengker, palapis amorf sareng palapis polikristalin parantos ngadamel kamajuan anu gancang dina manufaktur alat fotokonduktif, tabung efek medan anu dilapis, sareng sél surya efisiensi tinggi. Salian ti éta, kusabab kamekaran palapis semikonduktor vakum sareng pilem ipis sénsor, anu ogé sacara substansial ngirangan kasusah pamilihan bahan sareng ngajantenkeun prosés manufaktur laun-laun disederhanakeun. Alat palapis semikonduktor vakum parantos janten ayana anu diperyogikeun pikeun aplikasi semikonduktor. Alat ieu seueur dianggo pikeun palapis semikonduktor alat kaméra, sél surya, transistor anu dilapis, émisi medan, cahaya katoda, émisi éléktron, unsur sensing pilem ipis, jsb.
Jalur palapis magnetron sputtering dirancang nganggo sistem kontrol otomatis pinuh, antarmuka manusa-mesin layar rampa anu merenah sareng intuitif. Jalur ieu dirancang nganggo menu fungsi lengkep pikeun ngahontal pangawasan lengkep status operasi pikeun sadaya komponén jalur produksi, setélan parameter prosés, panyalindungan operasi sareng fungsi alarm. Sakabéh sistem kontrol listrik aman, tiasa dipercaya sareng stabil. Dilengkepan target magnetron sputtering dua sisi luhur sareng handap atanapi sistem palapis hiji sisi.
Alat-alat ieu utamina diterapkeun kana papan sirkuit keramik, kapasitor tegangan tinggi chip sareng palapis substrat anu sanés, daérah aplikasi utama nyaéta papan sirkuit éléktronik.
Waktos posting: 07-Nop-2022