Zoals we allemaal weten, is de definitie van een halfgeleider dat deze een geleidbaarheid heeft die ligt tussen die van droge geleiders en isolatoren, en een soortelijke weerstand die ligt tussen die van metaal en isolator. Deze ligt bij kamertemperatuur doorgaans in het bereik van 1 mΩ·cm tot 1 GΩ·cm. De laatste jaren is het belang van vacuümhalfgeleidercoatings bij grote halfgeleiderbedrijven duidelijk toegenomen, met name in onderzoek naar grootschalige geïntegreerde schakelingen, magnetoelektrische conversieapparaten, lichtemitterende diodes en andere ontwikkelingsprojecten. Vacuümhalfgeleidercoatings spelen hierin een belangrijke rol.
Halfgeleiders worden gekenmerkt door hun intrinsieke eigenschappen, temperatuur en onzuiverheidsconcentratie. Vacuüm halfgeleidercoatingmaterialen onderscheiden zich voornamelijk door hun samenstellende verbindingen. De meeste zijn gebaseerd op boor, koolstof, silicium, germanium, arseen, antimoon, tellurium, jodium, enz., en een relatief klein aantal op GaP, GaAs, InSb, enz. Er zijn ook enkele oxidehalfgeleiders, zoals FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O, enz.
Vacuümverdamping, sputtercoating, ionencoating en andere apparatuur kunnen worden gebruikt voor het aanbrengen van halfgeleidercoatings in een vacuümomgeving. Deze coatingapparatuur werkt op verschillende manieren, maar ze zorgen er allemaal voor dat een halfgeleidercoating op een substraat wordt aangebracht. Het materiaal van het substraat hoeft geen specifieke eisen te stellen; het hoeft geen halfgeleider te zijn. Bovendien kunnen coatings met verschillende elektrische en optische eigenschappen worden aangebracht door middel van zowel onzuiverheidsdiffusie als ionenimplantatie op het oppervlak van het halfgeleidersubstraat. De resulterende dunne laag kan vervolgens in principe als halfgeleidercoating worden gebruikt.
Vacuümhalfgeleidercoatings zijn onmisbaar in de elektronica, zowel voor actieve als passieve componenten. Dankzij de voortdurende vooruitgang in de vacuümhalfgeleidercoatingtechnologie is nauwkeurige controle van de filmprestaties mogelijk geworden.
De afgelopen jaren hebben amorfe en polykristallijne coatings een snelle vooruitgang geboekt in de productie van fotogeleidende apparaten, gecoate veldeffectbuizen en hoogrendementszonnecellen. Daarnaast heeft de ontwikkeling van vacuüm halfgeleidercoating en dunnefilmsensoren de moeilijkheidsgraad van materiaalselectie aanzienlijk verlaagd en het productieproces geleidelijk vereenvoudigd. Apparatuur voor vacuüm halfgeleidercoating is onmisbaar geworden voor halfgeleidertoepassingen. Deze apparatuur wordt veelvuldig gebruikt voor het coaten van halfgeleiders in camera's, zonnecellen, gecoate transistors, veldemissie, kathodelicht, elektronenemissie, dunnefilmsensoren, enzovoort.
De magnetron sputtercoatinglijn is ontworpen met een volledig automatisch besturingssysteem en een handige en intuïtieve touchscreen-interface. De lijn is voorzien van een uitgebreid functiemenu voor volledige bewaking van de operationele status van alle componenten, het instellen van procesparameters, operationele beveiliging en alarmfuncties. Het gehele elektrische besturingssysteem is veilig, betrouwbaar en stabiel. De lijn is uitgerust met een boven- en onderdubbelzijdig magnetron sputtertarget of een enkelzijdig coatingsysteem.
De apparatuur wordt hoofdzakelijk gebruikt voor het coaten van keramische printplaten, chiphoogspanningscondensatoren en andere substraten; de belangrijkste toepassingsgebieden zijn elektronische printplaten.
Geplaatst op: 7 november 2022