Барыбызга да билгеле булганча, ярымүткәргечнең билгеләмәсе шунда: ул коры үткәргечләр һәм изоляторлар арасында үткәрүчәнлеккә ия, металл һәм изолятор арасындагы каршылык гадәттә бүлмә температурасында 1 мΩ-см ~ 1 ГΩ-см диапазонында була. Соңгы елларда вакуум ярымүткәргеч каплау зур ярымүткәргеч компанияләрендә аның статусы барган саен югарырак булуы ачык күренә, бигрәк тә кайбер зур күләмле интеграль система схемаларын эшләү технологияләрен өйрәнү ысуллары, магнитоэлектрик үзгәртү җайланмалары, яктылык чыгаручы җайланмалар һәм башка эшләү эшләрендә. Вакуум ярымүткәргеч каплау мөһим роль уйный.
Ярымүткәргечләр үзләренең эчке үзенчәлекләре, температурасы һәм катнашма концентрациясе белән характерлана. Вакуум ярымүткәргеч каплау материаллары бер-берсеннән, нигездә, аның составындагы кушылмалар белән аерылып тора. Якынча барысы да бор, углерод, кремний, германий, мышьяк, сурьма, теллур, йод һ.б. нигезендә эшләнгән, ә кайберләре чагыштырмача аз GaP, GaAs, lnSb һ.б. тәшкил итә. Шулай ук FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O һ.б. кебек оксид ярымүткәргечләр дә бар.
Вакуум парга әйләндерү, сиптерү каплавы, ион каплавы һәм башка җиһазлар вакуум ярымүткәргеч каплауны эшли ала. Бу каплау җиһазлары барысы да эш принцибы буенча төрле, ләкин алар барысы да ярымүткәргеч материалны субстратка урнаштырып, каплау материалын ясый, һәм субстрат материалы буларак, аның ярымүткәргеч булу-булмавы таләп ителми. Моннан тыш, төрле электр һәм оптик үзлекләргә ия каплауларны катнашма диффузиясе һәм ярымүткәргеч субстрат өслегенә билгеле бер диапазонда ион имплантацияләү юлы белән әзерләргә мөмкин. Нәтиҗәдә барлыкка килгән юка катламны, гомумән алганда, ярымүткәргеч каплау буларак та эшкәртергә мөмкин.
Вакуум ярымүткәргеч каплау электроникада, актив яки пассив җайланмалар өчен булсынмы, алыштыргысыз әйбер. Вакуум ярымүткәргеч каплау технологиясенең даими үсеше белән пленка эшчәнлеген төгәл контрольдә тоту мөмкин булды.
Соңгы елларда аморф каплау һәм поликристалл каплау фотоүткәргеч җайланмалар, капланган кыр эффекты лампалары һәм югары нәтиҗәле кояш батареялары җитештерүдә тиз алга китте. Моннан тыш, вакуум ярымүткәргеч каплау һәм сенсорларның юка пленкасы үсеше аркасында, бу да материал сайлау кыенлыгын сизелерлек киметә һәм җитештерү процессын әкренләп гадиләштерә. Вакуум ярымүткәргеч каплау җиһазлары ярымүткәргеч кушымталары өчен кирәкле әйбергә әйләнде. Бу җиһазлар камера җайланмаларын, кояш батареяларын, капланган транзисторларны, кыр эмиссиясен, катод-яктылыкны, электрон эмиссиясен, юка пленка сизү элементларын һ.б. ярымүткәргеч каплау өчен киң кулланыла.
Магнетрон сиптерү каплау линиясе тулысынча автоматик идарә итү системасы, уңайлы һәм интуитив сенсорлы кеше-машина интерфейсы белән эшләнгән. Линия бөтен җитештерү линиясе компонентларының эш торышын, процесс параметрларын көйләүне, эш саклауны һәм сигнал функцияләрен тулысынча күзәтү өчен тулы функция менюсы белән эшләнгән. Бөтен электр идарә итү системасы куркынычсыз, ышанычлы һәм тотрыклы. Өске һәм аскы ике яклы магнетрон сиптерү максатчан яки бер яклы каплау системасы белән җиһазландырылган.
Җиһазлар, нигездә, керамик схема такталарына, югары вольтлы чип конденсаторларына һәм башка субстрат каплауларына кулланыла, төп куллану өлкәләре - электрон схема такталары.
Бастырып чыгару вакыты: 2022 елның 7 ноябре