Hamımızın bildiyimiz kimi, yarımkeçiricilərin tərifi, quru keçiricilər və izolyatorlar arasında keçiriciliyə malik olmasıdır. Metal və izolyator arasındakı müqavimət, adətən otaq temperaturunda 1mΩ-sm ~ 1GΩ-sm arasındadır. Son illərdə əsas yarımkeçirici şirkətlərdə vakuum yarımkeçirici örtük, xüsusilə də bəzi genişmiqyaslı inteqrasiya olunmuş sistem dövrələrinin inkişaf texnologiyası tədqiqat metodlarında, maqnitoelektrik çevirmə cihazlarında, işıq yayan cihazlarda və digər inkişaf işlərində getdikcə daha yüksək statusa sahib olduğu aydındır. Vakuum yarımkeçirici örtük mühüm rol oynayır.
Yarımkeçiricilər öz daxili xüsusiyyətləri, temperaturu və aşqar konsentrasiyası ilə xarakterizə olunur. Vakuum yarımkeçirici örtük materialları bir-birindən əsasən tərkib hissələri ilə fərqlənir. Təxminən hamısı bor, karbon, silisium, germanium, arsen, antimon, tellur, yod və s.-yə, bəziləri isə nisbətən az miqdarda GaP, GaAs, lnSb və s.-yə əsaslanır. FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O və s. kimi bəzi oksid yarımkeçiriciləri də mövcuddur.
Vakuum buxarlanması, püskürtmə örtüyü, ion örtüyü və digər avadanlıqlar vakuum yarımkeçirici örtüklə örtülə bilər. Bu örtük avadanlıqlarının hamısı iş prinsipinə görə fərqlidir, lakin hamısı yarımkeçirici material örtük materialını substrata yerləşdirir və substratın materialı olaraq, yarımkeçirici olub-olmaması tələb olunmur. Bundan əlavə, müxtəlif elektrik və optik xüsusiyyətlərə malik örtüklər həm aşqar diffuziyası, həm də yarımkeçirici substratın səthinə müəyyən bir diapazonda ion implantasiyası ilə hazırlana bilər. Nəticədə yaranan nazik təbəqə ümumiyyətlə yarımkeçirici örtük kimi də emal edilə bilər.
Vakuum yarımkeçirici örtük, istər aktiv, istərsə də passiv cihazlar üçün elektronikada əvəzolunmaz bir varlıqdır. Vakuum yarımkeçirici örtük texnologiyasının davamlı inkişafı ilə film performansının dəqiq idarə edilməsi mümkün olmuşdur.
Son illərdə amorf örtük və polikristal örtük fotokeçirici cihazların, örtüklü sahə effektli boruların və yüksək səmərəli günəş batareyalarının istehsalında sürətli irəliləyiş əldə etmişdir. Bundan əlavə, vakuum yarımkeçirici örtüyünün və sensorların nazik təbəqəsinin inkişafı sayəsində material seçiminin çətinliyi də əhəmiyyətli dərəcədə azalır və istehsal prosesi tədricən sadələşdirilir. Vakuum yarımkeçirici örtük avadanlığı yarımkeçirici tətbiqlər üçün zəruri bir mövcudluğa çevrilmişdir. Avadanlıq kamera cihazlarının, günəş batareyalarının, örtüklü tranzistorların, sahə emissiyasının, katod işığının, elektron emissiyasının, nazik təbəqə sensor elementlərinin və s. yarımkeçirici örtükləri üçün geniş istifadə olunur.
Maqnetron püskürtmə örtük xətti tam avtomatik idarəetmə sistemi, rahat və intuitiv sensor ekranlı insan-maşın interfeysi ilə hazırlanmışdır. Xətt, bütün istehsal xətti komponentlərinin əməliyyat vəziyyətinin, proses parametrlərinin tənzimlənməsinin, əməliyyatın qorunmasının və siqnalizasiya funksiyalarının tam monitorinqini təmin etmək üçün tam funksiya menyusu ilə hazırlanmışdır. Bütün elektrik idarəetmə sistemi təhlükəsiz, etibarlı və sabitdir. Yuxarı və aşağı ikitərəfli maqnetron püskürtmə hədəfi və ya təktərəfli örtük sistemi ilə təchiz olunmuşdur.
Avadanlıq əsasən keramika dövrə lövhələrinə, çip yüksək gərginlikli kondensatorlara və digər substrat örtüklərinə tətbiq olunur, əsas tətbiq sahələri elektron dövrə lövhələridir.
Yazı vaxtı: 07 Noyabr 2022