Tulaga o lo'o fa'aogaina nei o le ufiufi semiconductor vacuum

E pei ona tatou iloa uma, o le faʻauigaga o le semiconductor o lona conductivity i le va o conductors mago ma insulators, resistivity i le va o le uʻamea ma le insulator, lea e masani lava i le vevela o le potu e i totonu o le va o le 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm. I tausaga talu ai nei, o le ufiufi semiconductor vacuum i kamupani semiconductor tetele, ua manino mai o lona tulaga ua faʻateleina le maualuga, aemaise lava i nisi o metotia tetele o suʻesuʻega tekonolosi o atinaʻe o matagaluega tuʻufaʻatasi i masini faʻaliliu magnetoelectric, masini faʻamalamalama ma isi galuega atinaʻe. O le ufiufi semiconductor vacuum e iai sona sao taua.

E iloga ia semiconductors i o latou uiga totino, vevela ma le maualuga o le le mama. O mea e ufiufi ai le semiconductor vacuum e eseese le tasi mai le isi e ala i mea e aofia ai. E toetoe lava o mea uma e faʻavae i luga o le boron, carbon, silicon, germanium, arsenic, antimony, tellurium, iodine, ma isi, ma nisi e na o ni nai GaP, GaAs, lnSb, ma isi. E iai foʻi nisi o semiconductors oxide, e pei o le FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O, ma isi.

E mafai e masini e pei o le vacuum evaporation, sputtering coating, ion coating ma isi masini ona faia le vacuum semiconductor coating. E eseese uma nei masini e ufiufi ai le eletise i le latou faiga fa'atino, ae latou te faia uma lava le semiconductor material coating e fa'apipi'i i luga o le substrate, ma e leai se mana'oga e avea ma semiconductor pe leai. E le gata i lea, o ufiufi e eseese meatotino eletise ma opitika e mafai ona saunia e ala i le impurity diffusion ma le ion implantation i luga o le semiconductor substrate i se vaega. O le vaega manifinifi e maua mai ai e mafai foi ona fa'agasoloina o se semiconductor coating lautele.

O le ufiufi o le semiconductor vacuum o se mea e taua tele i masini eletise pe mo masini galue pe leai foi. Faatasi ai ma le alualu i luma faifai pea o tekinolosi ufiufi o le semiconductor vacuum, ua mafai ai ona pulea lelei le faatinoga o le ata tifaga.

I tausaga talu ai nei, ua vave ona alualu i luma le valiina o le amorphous ma le valiina o le polycrystalline i le gaosiga o masini e faʻaaogaina ai le photoconductivity, paipa e ufiufi ai le field-effect, ma sela o le la e maualuga le lelei. E le gata i lea, ona o le atinaʻeina o le valiina o le vacuum semiconductor ma le ata manifinifi o sensors, lea e faʻaitiitia ai foʻi le faigata o le filifilia o meafaitino ma faʻafaigofieina ai le faiga o gaosiga. Ua avea nei masini valiina o le vacuum semiconductor ma se mea e manaʻomia mo faʻaoga semiconductor. E faʻaaogaina lautele nei masini mo le valiina o le semiconductor o masini pueata, sela o le la, transistors e ufiufi, faʻasalalauga o le fanua, malamalama o le cathode, faʻasalalauga o le eletise, elemene e iloa ai ata manifinifi, ma isi mea faapena.

O le laina ufiufi o le magnetron sputtering ua mamanuina i se faiga pulea otometi atoatoa, o se fesoʻotaʻiga faigofie ma faigofie ona malamalama i ai i le va o le tagata ma le masini ma le lau paʻi. O le laina ua mamanuina i se lisi atoa o galuega faatino e ausia ai le mataʻituina atoatoa o le tulaga o le faʻagaioiga mo vaega uma o le laina gaosiga, faʻatulagaina o parakalafa o le faʻagasologa, puipuiga o le faʻagaioiga ma galuega faʻailo. O le faiga pulea eletise atoa e saogalemu, faʻatuatuaina ma mautu. Faʻapipiʻiina i le pito i luga ma le pito i lalo o le magnetron sputtering target poʻo le faiga ufiufi e tasi le itu.

O le masini e faʻaaogaina tele i laupapa matagaluega seramika, capacitors maualuga-voltage chip ma isi ufiufi substrate, o vaega autu o faʻaoga o laupapa matagaluega eletise.