Som vi alla vet är definitionen av halvledare att den har en konduktivitet mellan torra ledare och isolatorer, resistivitet mellan metall och isolator, som vanligtvis är vid rumstemperatur ligger inom intervallet 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm. Under de senaste åren, vakuum halvledarbeläggning i de stora halvledarföretag, är det tydligt att dess status blir allt högre, särskilt i vissa storskaliga integrerade systemkretsutveckling teknik forskningsmetoder till magnetoelektriska omvandlingsanordningar, ljusemitterande enheter och annat utvecklingsarbete.Vakuumhalvledarbeläggning har en viktig roll.
Halvledare kännetecknas av sina inneboende egenskaper, temperatur och föroreningskoncentration.Vakuumhalvledarbeläggningsmaterial särskiljs från varandra huvudsakligen genom sina beståndsdelar.Ungefär alla är baserade på bor, kol, kisel, germanium, arsenik, antimon, tellur, jod, etc., och några relativt få GaP, GaAs, lnSb, etc.. Det finns också vissa oxidhalvledare, såsom FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr2O3, Cu2O, etc.
Vakuumavdunstning, sputterbeläggning, jonbeläggning och annan utrustning kan göra vakuumhalvledarbeläggning.Dessa beläggningsutrustningar är alla olika i sin funktionsprincip, men de gör alla att halvledarmaterialet beläggningsmaterial avsätts på substratet, och som materialet i substratet finns det inget krav, det kan vara en halvledare eller inte.Dessutom kan beläggningar med olika elektriska och optiska egenskaper framställas genom både föroreningsdiffusion och jonimplantation på ytan av halvledarsubstratet inom ett område.Det resulterande tunna skiktet kan också bearbetas som en halvledarbeläggning i allmänhet.
Vakuumhalvledarbeläggning är en oumbärlig närvaro i elektroniken oavsett om det är för aktiva eller passiva enheter.Med den kontinuerliga utvecklingen av vakuumhalvledarbeläggningsteknologi har exakt kontroll av filmens prestanda blivit möjlig.
Under de senaste åren har amorf beläggning och polykristallin beläggning gjort snabba framsteg i tillverkningen av fotokonduktiva anordningar, belagda fälteffektrör och högeffektiva solceller.Dessutom, på grund av utvecklingen av vakuumhalvledarbeläggning och den tunna filmen av sensorer, vilket också avsevärt minskar svårigheten med materialval och gör tillverkningsprocessen gradvis förenklad.Vakuumhalvledarbeläggningsutrustning har blivit en nödvändig närvaro för halvledarapplikationer.Utrustningen används ofta för halvledarbeläggning av kameraenheter, solceller, belagda transistorer, fältemission, katodljus, elektronemission, tunnfilmsavkänningselement, etc.
Magnetronförstoftningsbeläggningslinjen är designad med ett helautomatiskt kontrollsystem, ett bekvämt och intuitivt pekskärmsgränssnitt mellan människa och maskin.Linjen är designad med en komplett funktionsmeny för att uppnå full övervakning av driftstatus för hela produktionslinjens komponenter, processparameterinställning, driftskydd och larmfunktioner.Hela det elektriska styrsystemet är säkert, pålitligt och stabilt.Utrustad med övre och nedre dubbelsidiga magnetronsputtermål eller enkelsidigt beläggningssystem.
Utrustningen appliceras huvudsakligen på keramiska kretskort, chip högspänningskondensatorer och annan substratbeläggning, de huvudsakliga applikationsområdena är elektroniska kretskort.
Posttid: 2022-nov-07