Барлығымызға белгілі, жартылай өткізгіштің анықтамасы құрғақ өткізгіштер мен оқшаулағыштар арасындағы өткізгіштік болып табылады, ал металл мен оқшаулағыш арасындағы кедергі бөлме температурасында әдетте 1 мΩ-см ~ 1 ГΩ-см аралығында болады. Соңғы жылдары ірі жартылай өткізгіш компанияларда вакуумды жартылай өткізгіш жабынының мәртебесі, әсіресе магнитоэлектрлік түрлендіру құрылғыларына, жарық шығаратын құрылғыларға және басқа да әзірлемелерге дейінгі кейбір ірі интеграцияланған жүйелік схемаларды әзірлеу технологиясын зерттеу әдістерінде жоғарылағаны анық. Вакуумды жартылай өткізгіш жабынының маңызды рөлі бар.
Жартылай өткізгіштер өздерінің ішкі сипаттамаларымен, температурасымен және қоспа концентрациясымен сипатталады. Вакуумдық жартылай өткізгіш жабын материалдары бір-бірінен негізінен оның құрамдас бөліктерімен ерекшеленеді. Шамамен барлығы бор, көміртек, кремний, германий, мышьяк, сурьма, теллур, йод және т.б. негізінде жасалған, ал кейбіреулері салыстырмалы түрде аз GaP, GaAs, lnSb және т.б. құрайды. Сондай-ақ FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O және т.б. сияқты оксидті жартылай өткізгіштер де бар.
Вакуумдық булану, шашырату жабыны, иондық жабын және басқа да жабдықтар вакуумдық жартылай өткізгіш жабынды жасай алады. Бұл жабын жабдықтарының барлығы жұмыс принципі бойынша әртүрлі, бірақ олардың барлығы жартылай өткізгіш материалды жабын материалын негізге тұндырады, және негіз материалы ретінде оның жартылай өткізгіш болуы немесе болмауы талап етілмейді. Сонымен қатар, әртүрлі электрлік және оптикалық қасиеттері бар жабындарды қоспаның диффузиясы және жартылай өткізгіш негіз бетіне белгілі бір диапазонда ион имплантациясы арқылы дайындауға болады. Алынған жұқа қабатты жалпы жартылай өткізгіш жабын ретінде де өңдеуге болады.
Вакуумдық жартылай өткізгіш жабын электроникада белсенді немесе пассивті құрылғылар үшін де маңызды рөл атқарады. Вакуумдық жартылай өткізгіш жабын технологиясының үздіксіз дамуымен пленка өнімділігін дәл басқару мүмкін болды.
Соңғы жылдары аморфты жабын және поликристалды жабын фотоөткізгіш құрылғыларды, жабынды өрістік түтіктерді және жоғары тиімді күн батареяларын өндіруде жылдам ілгерілеушілікке қол жеткізді. Сонымен қатар, вакуумдық жартылай өткізгіш жабын мен сенсорлардың жұқа қабықшасының дамуы материалды таңдау қиындықтарын айтарлықтай азайтады және өндіріс процесін біртіндеп жеңілдетеді. Вакуумдық жартылай өткізгіш жабын жабдықтары жартылай өткізгіш қолданбалар үшін қажетті құралға айналды. Бұл жабдық камера құрылғыларын, күн батареяларын, жабынды транзисторларды, өрістік сәулеленуді, катодтық жарықты, электрон сәулеленуін, жұқа қабықшалы сенсорлық элементтерді және т.б. жартылай өткізгіш жабынмен қаптау үшін кеңінен қолданылады.
Магнетронды бүріккіш жабын желісі толығымен автоматты басқару жүйесімен, ыңғайлы және интуитивті сенсорлық экранды адам-машина интерфейсімен жасалған. Желі бүкіл өндіріс желісінің компоненттерінің жұмыс күйін, процесс параметрлерін орнатуды, жұмысты қорғауды және дабыл функцияларын толық бақылауға қол жеткізу үшін толық функция мәзірімен жасалған. Барлық электрлік басқару жүйесі қауіпсіз, сенімді және тұрақты. Жоғарғы және төменгі екі жақты магнетронды бүріккіш нысанамен немесе бір жақты жабын жүйесімен жабдықталған.
Жабдық негізінен керамикалық схемалық тақталарға, чиптік жоғары вольтты конденсаторларға және басқа да негіз жабындарына қолданылады, негізгі қолдану салалары электрондық схемалық тақталар болып табылады.
Жарияланған уақыты: 2022 жылғы 7 қараша