Barchamizga ma'lumki, yarimo'tkazgichning ta'rifi shundaki, u quruq o'tkazgichlar va izolyatorlar o'rtasida o'tkazuvchanlikka ega, metall va izolyator o'rtasidagi qarshilik odatda xona haroratida 1mΩ-sm ~ 1GΩ-sm oralig'ida bo'ladi. So'nggi yillarda yirik yarimo'tkazgich kompaniyalarida vakuumli yarimo'tkazgich qoplamasi tobora yuqori mavqega ega bo'lib bormoqda, ayniqsa, ba'zi keng ko'lamli integral tizim sxemalarini ishlab chiqish texnologiyalarini tadqiq qilish usullarida magnetoelektrik konvertatsiya qurilmalari, yorug'lik chiqaradigan qurilmalar va boshqa ishlab chiqish ishlarida. Vakuumli yarimo'tkazgich qoplamasi muhim rol o'ynaydi.
Yarimo'tkazgichlar o'zlarining ichki xususiyatlari, harorati va aralashmalar konsentratsiyasi bilan tavsiflanadi. Vakuumli yarimo'tkazgich qoplama materiallari bir-biridan asosan uning tarkibiy birikmalari bilan ajralib turadi. Taxminan barchasi bor, uglerod, kremniy, germaniy, mishyak, surma, tellur, yod va boshqalarga asoslangan, ba'zilari esa nisbatan kam GaP, GaAs, lnSb va boshqalar. Shuningdek, FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O va boshqalar kabi ba'zi oksid yarimo'tkazgichlar ham mavjud.
Vakuumli bug'lanish, purkash qoplamasi, ion qoplamasi va boshqa uskunalar vakuumli yarimo'tkazgich qoplamasini amalga oshirishi mumkin. Ushbu qoplama uskunalarining barchasi ish printsipi jihatidan farq qiladi, ammo ularning barchasi yarimo'tkazgich materialining qoplama materialini substratga yotqizadi va substrat materiali sifatida yarimo'tkazgich bo'lishi yoki bo'lmasligi shart emas. Bundan tashqari, turli xil elektr va optik xususiyatlarga ega qoplamalarni yarimo'tkazgich substratining yuzasiga ma'lum bir diapazonda aralashmalarning tarqalishi va ion implantatsiyasi orqali tayyorlash mumkin. Olingan yupqa qatlamni umuman yarimo'tkazgich qoplamasi sifatida ham qayta ishlash mumkin.
Vakuumli yarimo'tkazgich qoplamasi elektronikada, u faol yoki passiv qurilmalar uchun bo'ladimi, ajralmas mavjudotdir. Vakuumli yarimo'tkazgich qoplama texnologiyasining doimiy rivojlanishi bilan plyonka ishlashini aniq boshqarish mumkin bo'ldi.
So'nggi yillarda amorf qoplama va polikristal qoplama fotoo'tkazuvchan qurilmalar, qoplangan dala effektli naychalar va yuqori samarali quyosh batareyalarini ishlab chiqarishda tez taraqqiyotga erishdi. Bundan tashqari, vakuumli yarimo'tkazgich qoplamasi va sensorlarning yupqa plyonkasining rivojlanishi tufayli material tanlash qiyinchiliklari sezilarli darajada kamayadi va ishlab chiqarish jarayoni asta-sekin soddalashtiriladi. Vakuumli yarimo'tkazgich qoplama uskunalari yarimo'tkazgichli ilovalar uchun zaruriy mavjudotga aylandi. Ushbu uskuna kamera qurilmalari, quyosh batareyalari, qoplangan tranzistorlar, dala emissiyasi, katod-yorug'lik, elektron emissiyasi, yupqa plyonkali sezgir elementlar va boshqalarni yarimo'tkazgichli qoplama bilan qoplash uchun keng qo'llaniladi.
Magnetronli purkash qoplama liniyasi to'liq avtomatik boshqaruv tizimi, qulay va intuitiv sensorli ekranli inson-mashina interfeysi bilan ishlab chiqilgan. Liniya butun ishlab chiqarish liniyasi komponentlari, jarayon parametrlarini sozlash, ishlashni himoya qilish va signalizatsiya funktsiyalarining ish holatini to'liq monitoring qilish uchun to'liq funksiya menyusi bilan ishlab chiqilgan. Butun elektr boshqaruv tizimi xavfsiz, ishonchli va barqaror. Yuqori va pastki ikki tomonlama magnetronli purkash nishoni yoki bir tomonlama qoplama tizimi bilan jihozlangan.
Uskunalar asosan keramik elektron platalar, chipli yuqori voltli kondensatorlar va boshqa substrat qoplamalariga qo'llaniladi, asosiy qo'llanilish sohalari elektron elektron platalardir.
Nashr vaqti: 2022-yil 7-noyabr