நாம் அனைவரும் அறிந்தபடி, குறைக்கடத்தியின் வரையறை என்பது, உலர் கடத்திகளுக்கும் மின்காப்பான்களுக்கும் இடையில் கடத்துத்திறனையும், உலோகம் மற்றும் மின்காப்பானுக்கு இடையில் மின்தடையையும் கொண்டிருப்பதாகும். இது பொதுவாக அறை வெப்பநிலையில் 1mΩ-cm முதல் 1GΩ-cm வரையிலான வரம்பிற்குள் இருக்கும். சமீபத்திய ஆண்டுகளில், முக்கிய குறைக்கடத்தி நிறுவனங்களில் வெற்றிடக் குறைக்கடத்திப் பூச்சின் முக்கியத்துவம் அதிகரித்து வருவது தெளிவாகிறது. குறிப்பாக, சில பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த அமைப்புச் சுற்று மேம்பாட்டுத் தொழில்நுட்ப ஆராய்ச்சி முறைகள் முதல் காந்தமின் மாற்ற சாதனங்கள், ஒளி உமிழும் சாதனங்கள் மற்றும் பிற மேம்பாட்டுப் பணிகள் வரை வெற்றிடக் குறைக்கடத்திப் பூச்சு ஒரு முக்கியப் பங்கு வகிக்கிறது.
குறைக்கடத்திகள் அவற்றின் உள்ளார்ந்த பண்புகள், வெப்பநிலை மற்றும் மாசுச் செறிவு ஆகியவற்றால் வகைப்படுத்தப்படுகின்றன. வெற்றிடக் குறைக்கடத்திப் பூச்சுப் பொருட்கள், முக்கியமாக அவற்றின் கூறு சேர்மங்களைக் கொண்டு ஒன்றிலிருந்து ஒன்று வேறுபடுத்தப்படுகின்றன. ஏறக்குறைய அனைத்தும் போரான், கார்பன், சிலிக்கான், ஜெர்மானியம், ஆர்சனிக், ஆண்டிமனி, டெலூரியம், அயோடின் போன்றவற்றை அடிப்படையாகக் கொண்டவை. மேலும், ஒப்பீட்டளவில் சில GaP, GaAs, lnSb போன்றவையும் உள்ளன. FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O போன்ற சில ஆக்சைடு குறைக்கடத்திகளும் உள்ளன.
வெற்றிட ஆவியாக்கம், சிதறல் பூச்சு, அயனிப் பூச்சு மற்றும் பிற உபகரணங்களைக் கொண்டு வெற்றிட குறைக்கடத்திப் பூச்சு செய்ய முடியும். இந்தப் பூச்சு உபகரணங்கள் அனைத்தும் அவற்றின் செயல்பாட்டுக் கொள்கையில் வேறுபட்டிருந்தாலும், அவை அனைத்தும் குறைக்கடத்திப் பூச்சுப் பொருளை அடி மூலக்கூறின் மீது படிய வைக்கின்றன. மேலும், அடி மூலக்கூறின் பொருள் குறைக்கடத்தியாக இருக்க வேண்டுமா இல்லையா என்பதற்கு எந்த நிபந்தனையும் இல்லை. கூடுதலாக, குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் மாசு பரவல் மற்றும் அயனிப் பதியவைத்தல் ஆகிய இரண்டின் மூலமும் பல்வேறு மின் மற்றும் ஒளியியல் பண்புகளைக் கொண்ட பூச்சுகளைத் தயாரிக்க முடியும். இதன் விளைவாக உருவாகும் மெல்லிய அடுக்கையும் பொதுவாக ஒரு குறைக்கடத்திப் பூச்சாகச் செயலாக்கலாம்.
மின்னணுவியலில், அது செயல்திறன் மிக்க அல்லது செயல்திறன் அற்ற சாதனங்களாக இருந்தாலும், வெற்றிட குறைக்கடத்திப் பூச்சு ஒரு இன்றியமையாத அங்கமாகும். வெற்றிட குறைக்கடத்திப் பூச்சுத் தொழில்நுட்பத்தின் தொடர்ச்சியான முன்னேற்றத்தால், பூச்சின் செயல்திறனைத் துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்துவது சாத்தியமாகியுள்ளது.
சமீபத்திய ஆண்டுகளில், ஒளிக்கடத்தும் சாதனங்கள், பூசப்பட்ட புல-விளைவுக் குழாய்கள் மற்றும் உயர்-திறன் கொண்ட சூரிய மின்கலங்கள் ஆகியவற்றின் உற்பத்தியில் உருவமற்ற பூச்சு மற்றும் பலபடிகப் பூச்சு ஆகியவை விரைவான முன்னேற்றத்தை அடைந்துள்ளன. மேலும், வெற்றிடக் குறைக்கடத்திப் பூச்சு மற்றும் உணரிகளின் மென்படலத்தின் வளர்ச்சியின் காரணமாக, மூலப்பொருட்களைத் தேர்ந்தெடுப்பதில் உள்ள சிரமம் கணிசமாகக் குறைந்து, உற்பத்தி செயல்முறையும் படிப்படியாக எளிமையாக்கப்படுகிறது. வெற்றிடக் குறைக்கடத்திப் பூச்சு உபகரணங்கள், குறைக்கடத்திப் பயன்பாடுகளுக்கு இன்றியமையாத ஒன்றாக மாறியுள்ளன. இந்த உபகரணங்கள் கேமரா சாதனங்கள், சூரிய மின்கலங்கள், பூசப்பட்ட டிரான்சிஸ்டர்கள், புல உமிழ்வு, எதிர்மின்வாய்-ஒளி, எலக்ட்ரான் உமிழ்வு, மென்படல உணர் கூறுகள் போன்றவற்றின் குறைக்கடத்திப் பூச்சுக்குப் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் பூச்சு வரிசையானது, முழுமையான தானியங்கி கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு மற்றும் வசதியான, எளிதில் புரிந்துகொள்ளக்கூடிய தொடுதிரை மனித-இயந்திர இடைமுகத்துடன் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. முழு உற்பத்தி வரிசைக் கூறுகளின் செயல்பாட்டு நிலையை முழுமையாகக் கண்காணித்தல், செயல்முறை அளவுருக்களை அமைத்தல், செயல்பாட்டுப் பாதுகாப்பு மற்றும் எச்சரிக்கைச் செயல்பாடுகளை அடைவதற்காக, இந்த வரிசையானது ஒரு முழுமையான செயல்பாட்டுப் பட்டியலுடன் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. முழு மின்சாரக் கட்டுப்பாட்டு அமைப்பும் பாதுகாப்பானது, நம்பகமானது மற்றும் நிலையானது. மேல் மற்றும் கீழ் இருபக்க மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் இலக்கு அல்லது ஒருபக்க பூச்சு அமைப்புடன் இது பொருத்தப்பட்டுள்ளது.
இந்த உபகரணம் முக்கியமாக செராமிக் சர்க்யூட் பலகைகள், சிப் உயர் மின்னழுத்த மின்தேக்கிகள் மற்றும் பிற அடி மூலக்கூறு பூச்சுகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இதன் முக்கிய பயன்பாட்டுப் பகுதிகள் மின்னணு சர்க்யூட் பலகைகள் ஆகும்.
பதிவிட்ட நேரம்: நவம்பர்-07-2022