Seperti yang kita ketahui, definisi semikonduktor adalah material yang memiliki konduktivitas antara konduktor kering dan isolator, serta resistivitas antara logam dan isolator, yang biasanya pada suhu kamar berada dalam kisaran 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm. Dalam beberapa tahun terakhir, pelapisan semikonduktor vakum di perusahaan semikonduktor besar semakin menunjukkan statusnya yang tinggi, terutama dalam beberapa metode penelitian teknologi pengembangan sirkuit sistem terintegrasi skala besar hingga perangkat konversi magnetoelektrik, perangkat pemancar cahaya, dan pekerjaan pengembangan lainnya. Pelapisan semikonduktor vakum memiliki peran penting.
Semikonduktor dicirikan oleh karakteristik intrinsiknya, suhu, dan konsentrasi pengotor. Material pelapis semikonduktor vakum dibedakan satu sama lain terutama berdasarkan senyawa penyusunnya. Hampir semuanya berbasis boron, karbon, silikon, germanium, arsenik, antimon, tellurium, yodium, dll., dan beberapa yang relatif sedikit seperti GaP, GaAs, lnSb, dll. Ada juga beberapa semikonduktor oksida, seperti FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O, dll.
Penguapan vakum, pelapisan sputtering, pelapisan ion, dan peralatan lainnya dapat melakukan pelapisan semikonduktor vakum. Peralatan pelapisan ini semuanya berbeda dalam prinsip kerjanya, tetapi semuanya membuat bahan pelapis semikonduktor diendapkan pada substrat, dan sebagai bahan substrat, tidak ada persyaratan, bisa berupa semikonduktor atau bukan. Selain itu, lapisan dengan sifat listrik dan optik yang berbeda dapat disiapkan baik melalui difusi pengotor maupun implantasi ion pada permukaan substrat semikonduktor dalam rentang tertentu. Lapisan tipis yang dihasilkan juga dapat diproses sebagai lapisan semikonduktor secara umum.
Pelapisan semikonduktor vakum merupakan hal yang sangat penting dalam elektronik, baik untuk perangkat aktif maupun pasif. Dengan kemajuan teknologi pelapisan semikonduktor vakum yang berkelanjutan, kontrol yang tepat terhadap kinerja lapisan film menjadi mungkin.
Dalam beberapa tahun terakhir, pelapisan amorf dan pelapisan polikristalin telah mengalami kemajuan pesat dalam pembuatan perangkat fotokonduktif, tabung efek medan berlapis, dan sel surya efisiensi tinggi. Selain itu, karena perkembangan pelapisan semikonduktor vakum dan film tipis sensor, yang juga secara substansial mengurangi kesulitan pemilihan material dan membuat proses manufaktur secara bertahap disederhanakan. Peralatan pelapisan semikonduktor vakum telah menjadi kebutuhan penting untuk aplikasi semikonduktor. Peralatan ini banyak digunakan untuk pelapisan semikonduktor perangkat kamera, sel surya, transistor berlapis, emisi medan, cahaya katoda, emisi elektron, elemen sensor film tipis, dll.
Lini pelapisan sputtering magnetron dirancang dengan sistem kontrol otomatis sepenuhnya, antarmuka manusia-mesin layar sentuh yang nyaman dan intuitif. Lini ini dirancang dengan menu fungsi lengkap untuk mencapai pemantauan penuh status operasi seluruh komponen lini produksi, pengaturan parameter proses, perlindungan operasi, dan fungsi alarm. Seluruh sistem kontrol listrik aman, andal, dan stabil. Dilengkapi dengan target sputtering magnetron dua sisi atas dan bawah atau sistem pelapisan satu sisi.
Peralatan ini terutama diaplikasikan pada papan sirkuit keramik, kapasitor tegangan tinggi chip, dan pelapisan substrat lainnya, dengan area aplikasi utama berupa papan sirkuit elektronik.
Waktu posting: 07 November 2022