Hepimizin bildiği gibi, yarı iletkenin tanımı, kuru iletkenler ve yalıtkanlar arasında bir iletkenliğe, metal ve yalıtkan arasında bir dirence sahip olmasıdır ve genellikle oda sıcaklığında 1 mΩ-cm ~ 1 GΩ-cm aralığındadır. Son yıllarda, büyük yarı iletken şirketlerinde vakumlu yarı iletken kaplamanın önemi giderek artmaktadır, özellikle bazı büyük ölçekli entegre sistem devre geliştirme teknolojisi araştırma yöntemlerinde, manyetoelektrik dönüştürme cihazları, ışık yayan cihazlar ve diğer geliştirme çalışmalarında önemli bir rol oynamaktadır.
Yarı iletkenler, içsel özellikleri, sıcaklık ve safsızlık konsantrasyonu ile karakterize edilir. Vakum yarı iletken kaplama malzemeleri, esas olarak bileşen bileşiklerine göre birbirinden ayrılır. Kabaca hepsi bor, karbon, silisyum, germanyum, arsenik, antimon, tellür, iyot vb. esaslıdır ve nispeten az sayıda GaP, GaAs, lnSb vb. de bulunur. Ayrıca FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O vb. gibi bazı oksit yarı iletkenler de vardır.
Vakum buharlaştırma, püskürtme kaplama, iyon kaplama ve diğer ekipmanlarla vakum yarı iletken kaplama yapılabilir. Bu kaplama ekipmanlarının çalışma prensipleri farklıdır, ancak hepsi yarı iletken malzemeyi alt tabaka üzerine kaplama malzemesi olarak biriktirir ve alt tabaka malzemesinin yarı iletken olup olmamasına bakılmaksızın bir gereklilik yoktur. Ayrıca, yarı iletken alt tabakanın yüzeyinde hem safsızlık difüzyonu hem de iyon implantasyonu ile farklı elektriksel ve optik özelliklere sahip kaplamalar hazırlanabilir. Elde edilen ince tabaka genel olarak yarı iletken kaplama olarak da işlenebilir.
Vakum yarı iletken kaplama, aktif veya pasif cihazlar için olsun, elektronikte vazgeçilmez bir unsurdur. Vakum yarı iletken kaplama teknolojisindeki sürekli gelişmelerle birlikte, film performansının hassas kontrolü mümkün hale gelmiştir.
Son yıllarda, amorf kaplama ve polikristalin kaplama, fotokondüktif cihazların, kaplamalı alan etkili tüplerin ve yüksek verimli güneş pillerinin üretiminde hızlı ilerleme kaydetmiştir. Buna ek olarak, vakumlu yarı iletken kaplama ve ince film sensörlerinin gelişmesiyle malzeme seçimi zorluğu önemli ölçüde azalmış ve üretim süreci giderek basitleşmiştir. Vakumlu yarı iletken kaplama ekipmanı, yarı iletken uygulamaları için olmazsa olmaz bir unsur haline gelmiştir. Bu ekipman, kamera cihazları, güneş pilleri, kaplamalı transistörler, alan emisyonu, katot ışığı, elektron emisyonu, ince film algılama elemanları vb. yarı iletken kaplamalarında yaygın olarak kullanılmaktadır.
Manyetik püskürtme kaplama hattı, tam otomatik kontrol sistemi ve kullanışlı ve sezgisel dokunmatik ekranlı insan-makine arayüzü ile tasarlanmıştır. Hat, tüm üretim hattı bileşenlerinin çalışma durumunun tam olarak izlenmesi, proses parametre ayarı, çalışma koruması ve alarm fonksiyonları için eksiksiz bir fonksiyon menüsü ile tasarlanmıştır. Tüm elektrik kontrol sistemi güvenli, güvenilir ve stabildir. Üst ve alt çift taraflı manyetik püskürtme hedefi veya tek taraflı kaplama sistemi ile donatılmıştır.
Bu ekipman esas olarak seramik devre kartları, çip yüksek voltaj kapasitörleri ve diğer alt tabaka kaplamalarında kullanılır; başlıca uygulama alanları elektronik devre kartlarıdır.
Yayın tarihi: 07.11.2022