Дар раванди пӯшонидани пошидан, пайвастагиҳоро ҳамчун ҳадаф барои тайёр кардани филмҳои аз ҷиҳати химиявӣ синтезшуда истифода бурдан мумкин аст. Аммо таркиби плёнкае, ки пас аз пошидани материали таъиншуда хосил мешавад, аксар вакт аз таркиби аслии материали таъиншуда хеле дур мешавад ва аз ин ру, ба талаботи лоихаи аслй чавоб дода наметавонад. Агар ҳадафи металли соф истифода шавад, гази фаъоли зарурӣ (масалан, оксиген ҳангоми тайёр кардани плёнкаҳои оксид) ба гази корӣ (разряд) огоҳона омехта карда мешавад, то ки он бо маводи мавриди ҳадаф ба таври кимиёвӣ реаксия карда, плёнкаи тунукеро ҳосил кунад, ки аз рӯи таркиб ва хусусиятҳои он идора карда мешавад. Ин усулро аксар вақт "пошидани реаксия" меноманд.
Тавре ки қаблан зикр гардид, пошидани RF метавонад барои гузоштани филмҳои диэлектрикӣ ва плёнкаҳои гуногуни мураккаб истифода шавад. Аммо барои тайёр кардани плёнкаи «тоза» максади «тоза», оксид, нитрид, карбид ё дигар хокаи омехта доштан лозим аст. Коркарди ин хокаҳо ба ҳадафи як шакли муайян илова кардани иловаҳои заруриро барои қолаб ё синтеризатсия талаб мекунад, ки дар натиҷа тозагии ҳадаф ва филми натиҷавӣ ба таври назаррас коҳиш меёбад. Дар пошидани реактивй бошад, азбаски металлхои соф ва газхои тоза-ро истифода бурдан мумкин аст, барои тайёр кардани плёнкахои тозаи баланд шароити мусоид фарохам оварда шудааст. Дар солҳои охир пошидани реактивӣ таваҷҷуҳи бештар пайдо карда, як усули асосии таҳшин кардани плёнкаҳои тунуки пайвастагиҳои функсионалии гуногун гардид. Он дар истеҳсоли пайвастагиҳои IV, I- ва IV-V, нимноқилҳои ба оташ тобовар ва оксидҳои гуногун, аз қабили истифодаи омехтаи поликристаллии Si ва CH./Ar барои тирандозии боришоти филмҳои тунуки SiC, Ti ҳадаф ва N/Ar барои тайёр кардани филмҳои сахти TiN, Ta ва O/O ба таври васеъ истифода мешавад; плёнкахои тунуки диэлектрикй, Fe ва О,/Ар тайёр кардани -ФезО; -ФезО. плёнкахои сабт, плёнкахои пьезоэлектрикии AIN бо A1 ва N/Ar, плёнкахои интихобкунандаи абсорбционии A1-CO бо AI ва CO/Ar ва YBaCuO-плёнкахо бо Y-Ba-Cu ва O/Ar ва гайра.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти фиристодан: январ-18-2024