Иони камони катодии вакуумӣcoating ҳамчун камони вакуумӣ ихтисор карда мешавадcoхӯрдан. Агар ду ё зиёда манбаи бухоршавии камонҳои вакуумӣ (манбаъҳои камон номида мешаванд) истифода шаванд, онро ионҳои бисёр камон меноманд.coхӯрдан ё бисёр камонcoхӯрдан. Ин технологияи пӯшиши ионҳои вакуумӣ мебошад, ки разряди камони вакуумро барои манбаъҳои бухоршавӣ истифода мебарад. Баръакси камони гарми электронии разряди катодҳои холӣ, шакли камони он дар сатҳи катоди сард пайдо шудани нуқтаҳои камони катодӣ мебошад.
Хусусиятҳои ионҳои камони катодҳои вакуумӣcoтаъриф инҳоянд:
(1) Манбаи бухоршавӣ як ҳадафи сахти катод мебошад, ки бевосита аз манбаи ҳадафи катод бидуни ниёз ба ҳавзи гудохта плазма тавлид мекунад. Сарчашмаи ҳадафи камон метавонад дар ҳама гуна самт ва сарчашмаҳои гуногун ҷойгир карда шавад, то пӯшиши якхела таъмин карда шавад.
(2) Сохтори таҷҳизот нисбатан содда аст, бидуни ниёз ба гази корӣ ё усулҳои ионизатсияи ёрирасон. Манбаи ҳадафи камон на танҳо манбаи бухоршавии маводи катодӣ, балки манбаи ион низ мебошад; Ҳангоми ҷойгиршавии реактивӣ танҳо гази реактивӣ мавҷуд аст ва атмосфера бо истифода аз назорати оддии пурраи фишор идора карда мешавад.
(3) Сатҳи ионизатсия баланд аст, одатан ба 60% ~ 80% мерасад ва суръати таҳшиншавӣ баланд аст.
(4) Энергияи ионҳои ҳодиса баланд аст ва қувваи пайваст кардани филм/субстрат аз филми гузошташуда хуб аст.
(5) Истифодаи таъминоти барқи пастшиддат барои кори бехатар.
(6) Он метавонад плёнкаҳои металлӣ, плёнкаҳои хӯлаишударо гузорад, реаксия ва синтези филмҳои гуногуни мураккаб (пайвастаҳои аммиак, карбидҳо, оксидҳо) ва ҳатто филмҳои DLC, филмҳои CN ва ғайраро синтез кунад. Камбудии он дар он аст, ки ҳангоми таҳшиншавӣ қатраҳои ночизи моеъ аз сатҳи ҳадаф пошида мешаванд, ки дар қабати плёнка конденсатсия мешаванд ва қабати плёнкаро зиёд мекунанд. Дар айни замон бисьёр усулхои самарабахши кам кардан ва бархам додани ин микро-катрахо омухта шудаанд.
Иони камон вакуумӣcoТехнологияи коркард барои пӯшонидани пӯшишҳои муҳофизатии сахт барои асбобҳо ва қолабҳо ба таври васеъ истифода мешавад. Ба системаҳои плёнка TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC ва ғайра дохил мешаванд. Маҳсулоти рӯйпӯш асбобҳо, қолабҳо ва ғайраҳоро дар бар мегирад. Дар робита ба тақлидҳои тиллоӣ ва рангҳои рангҳои ороишии ороишӣ, системаҳои плёнка TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Systems Color, Zr film, ва ғ. дохил мешаванд. таппонча сиёҳ, сиёҳ, арғувон, қаҳваранг, кабуд Хокистари сабз ва ғайра.
Иони бисёр камонcoating дорои доираи васеи барномаҳо ва амалии қавӣ, махсусан дар рӯйпӯш кардани қабатҳои плёнкаи ороишӣ ва ба фарсуда тобовар дар сатҳи маводҳо ба монанди асбобҳои буриш, қолабҳо ва плитаҳои аз пӯлоди зангногир.
Вақти интишор: 17 август-2023