రియాక్టివ్ స్పట్టరింగ్ కోటింగ్ లక్షణాలు మరియు అప్లికేషన్లు

స్పట్టరింగ్ పూత ప్రక్రియలో, రసాయనికంగా సంశ్లేషణ చేయబడిన ఫిల్మ్‌ల తయారీకి సమ్మేళనాలను లక్ష్యంగా ఉపయోగించవచ్చు. అయితే, లక్ష్య పదార్థం యొక్క స్పట్టరింగ్ తర్వాత ఉత్పత్తి చేయబడిన ఫిల్మ్ యొక్క కూర్పు తరచుగా లక్ష్య పదార్థం యొక్క అసలు కూర్పు నుండి చాలా భిన్నంగా ఉంటుంది మరియు అందువల్ల అసలు డిజైన్ యొక్క అవసరాలను తీర్చదు. స్వచ్ఛమైన లోహ లక్ష్యాన్ని ఉపయోగించినట్లయితే, అవసరమైన క్రియాశీల వాయువు (ఉదా., ఆక్సైడ్ ఫిల్మ్‌లను తయారుచేసేటప్పుడు ఆక్సిజన్) పని చేసే (డిశ్చార్జ్) వాయువులో స్పృహతో కలుపుతారు, తద్వారా అది లక్ష్య పదార్థంతో రసాయనికంగా స్పందించి దాని కూర్పు మరియు లక్షణాల పరంగా నియంత్రించగల సన్నని ఫిల్మ్‌ను ఉత్పత్తి చేస్తుంది. ఈ పద్ధతిని తరచుగా "రియాక్షన్ స్పట్టరింగ్" అని పిలుస్తారు.

ముందుగా చెప్పినట్లుగా, డైఎలెక్ట్రిక్ ఫిల్మ్‌లు మరియు వివిధ కాంపౌండ్ ఫిల్మ్‌లను డిపాజిట్ చేయడానికి RF స్పట్టరింగ్‌ను ఉపయోగించవచ్చు. అయితే, "స్వచ్ఛమైన" ఫిల్మ్‌ను సిద్ధం చేయడానికి, "స్వచ్ఛమైన" లక్ష్యం, అధిక-స్వచ్ఛత ఆక్సైడ్, నైట్రైడ్, కార్బైడ్ లేదా ఇతర సమ్మేళన పొడిని కలిగి ఉండటం అవసరం. ఈ పౌడర్‌లను ఒక నిర్దిష్ట ఆకారం యొక్క లక్ష్యంలోకి ప్రాసెస్ చేయడానికి అచ్చు లేదా సింటరింగ్ కోసం అవసరమైన సంకలనాలను జోడించడం అవసరం, దీని ఫలితంగా లక్ష్యం యొక్క స్వచ్ఛత మరియు ఫలిత ఫిల్మ్‌లో గణనీయమైన తగ్గింపు ఏర్పడుతుంది. అయితే, రియాక్టివ్ స్పట్టరింగ్‌లో, అధిక-స్వచ్ఛత లోహాలు మరియు అధిక-స్వచ్ఛత వాయువులను ఉపయోగించవచ్చు కాబట్టి, అధిక-స్వచ్ఛత ఫిల్మ్‌ల తయారీకి అనుకూలమైన పరిస్థితులు అందించబడతాయి. ఇటీవలి సంవత్సరాలలో రియాక్టివ్ స్పట్టరింగ్ పెరుగుతున్న దృష్టిని ఆకర్షించింది మరియు వివిధ క్రియాత్మక సమ్మేళనాల సన్నని ఫిల్మ్‌లను అవక్షేపించడానికి ఇది ఒక ప్రధాన పద్ధతిగా మారింది. ఇది IV, I- మరియు IV-V సమ్మేళనాలు, వక్రీభవన సెమీకండక్టర్లు మరియు వివిధ రకాల ఆక్సైడ్ల తయారీలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతోంది, ఉదాహరణకు SiC సన్నని ఫిల్మ్‌ల అవక్షేపణను షూట్ చేయడానికి పాలీక్రిస్టలైన్ Si మరియు CH./Ar వాయువుల మిశ్రమం, TiN హార్డ్ ఫిల్మ్‌లను సిద్ధం చేయడానికి Ti లక్ష్యం మరియు N/Ar, TaOను తయారు చేయడానికి Ta మరియు O/Ar; -FezOను తయారు చేయడానికి డైఎలెక్ట్రిక్ సన్నని ఫిల్మ్‌లు, Fe మరియు O,/Ar; -FezO. రికార్డింగ్ ఫిల్మ్‌లు, A1 మరియు N/Arతో AIN పైజోఎలెక్ట్రిక్ ఫిల్మ్‌లు, AI మరియు CO/Arతో A1-CO సెలెక్టివ్ అబ్జార్ప్షన్ ఫిల్మ్‌లు మరియు Y-Ba-Cu మరియు O/Arతో YBaCuO-సూపర్ కండక్టింగ్ ఫిల్మ్‌లు, మొదలైనవి.

–ఈ వ్యాసం ప్రచురించినదివాక్యూమ్ కోటింగ్ యంత్ర తయారీదారుగ్వాంగ్‌డాంగ్ జెన్‌హువా