వాక్యూమ్ కాథోడ్ ఆర్క్ అయాన్ పూత యొక్క అవలోకనం

వాక్యూమ్ కాథోడ్ ఆర్క్ అయాన్coఅటింగ్‌ను వాక్యూమ్ ఆర్క్ అని సంక్షిప్తీకరించారు.coరెండు లేదా అంతకంటే ఎక్కువ వాక్యూమ్ ఆర్క్ బాష్పీభవన మూలాలను (ఆర్క్ మూలాలుగా సూచిస్తారు) ఉపయోగిస్తే, దానిని బహుళ ఆర్క్ అయాన్ అంటారు.coఅటింగ్ లేదా మల్టీ ఆర్క్coఅటింగ్. ఇది బాష్పీభవన వనరుల కోసం వాక్యూమ్ ఆర్క్ డిశ్చార్జ్‌ను ఉపయోగించే వాక్యూమ్ అయాన్ పూత సాంకేతికత. బోలు కాథోడ్ డిశ్చార్జ్ యొక్క వేడి ఎలక్ట్రాన్ ఆర్క్ వలె కాకుండా, దాని ఆర్క్ రూపం చల్లని కాథోడ్ ఉపరితలంపై కాథోడ్ ఆర్క్ మచ్చలు ఏర్పడటం.

వాక్యూమ్ కాథోడ్ ఆర్క్ అయాన్ యొక్క లక్షణాలుcoఇవి:

(1) బాష్పీభవన మూలం ఒక ఘన కాథోడ్ లక్ష్యం, ఇది కరిగిన పూల్ అవసరం లేకుండా కాథోడ్ లక్ష్య మూలం నుండి నేరుగా ప్లాస్మాను ఉత్పత్తి చేస్తుంది. ఏకరీతి పూతను నిర్ధారించడానికి ఆర్క్ లక్ష్య మూలాన్ని ఏ దిశలోనైనా మరియు బహుళ వనరులలో అమర్చవచ్చు.

(2) పని వాయువు లేదా సహాయక అయనీకరణ పద్ధతుల అవసరం లేకుండా పరికరాల నిర్మాణం సాపేక్షంగా సులభం. ఆర్క్ టార్గెట్ మూలం కాథోడ్ పదార్థానికి బాష్పీభవన మూలం మాత్రమే కాదు, అయాన్ మూలం కూడా; రియాక్టివ్ నిక్షేపణ సమయంలో, రియాక్టివ్ వాయువు మాత్రమే ఉంటుంది మరియు వాతావరణం సాధారణ పూర్తి పీడన నియంత్రణను ఉపయోగించి నియంత్రించబడుతుంది.

(3) అయనీకరణ రేటు ఎక్కువగా ఉంటుంది, సాధారణంగా 60%~80%కి చేరుకుంటుంది మరియు నిక్షేపణ రేటు ఎక్కువగా ఉంటుంది.

(4) సంఘటన అయాన్ శక్తి ఎక్కువగా ఉంటుంది మరియు డిపాజిట్ చేయబడిన ఫిల్మ్ యొక్క ఫిల్మ్/సబ్‌స్ట్రేట్ బంధన శక్తి మంచిది.

(5) సురక్షితమైన ఆపరేషన్ కోసం తక్కువ వోల్టేజ్ విద్యుత్ సరఫరాను ఉపయోగించడం.

(6) ఇది మెటల్ ఫిల్మ్‌లు, అల్లాయ్ ఫిల్మ్‌లను డిపాజిట్ చేయగలదు, వివిధ కాంపౌండ్ ఫిల్మ్‌లను (అమ్మోనియా సమ్మేళనాలు, కార్బైడ్‌లు, ఆక్సైడ్‌లు) రియాక్ట్ చేయగలదు మరియు సంశ్లేషణ చేయగలదు మరియు DLC ఫిల్మ్‌లు, CN ఫిల్మ్‌లు మొదలైన వాటిని కూడా సంశ్లేషణ చేయగలదు. దీని ప్రతికూలత ఏమిటంటే, నిక్షేపణ సమయంలో, లక్ష్య ఉపరితలం నుండి చిన్న చిన్న ద్రవ బిందువులు స్ప్లాష్ చేయబడతాయి, ఇవి పూత పూసిన ఫిల్మ్ పొరలో ఘనీభవిస్తాయి మరియు ఫిల్మ్ పొర యొక్క కరుకుదనాన్ని పెంచుతాయి. ప్రస్తుతం, ఈ సూక్ష్మ బిందువులను తగ్గించడానికి మరియు తొలగించడానికి అనేక ప్రభావవంతమైన పద్ధతులను అధ్యయనం చేశారు.

వాక్యూమ్ ఆర్క్ అయాన్coఉపకరణాలు మరియు అచ్చులకు సూపర్‌హార్డ్ ప్రొటెక్టివ్ పూతలను పూయడానికి ఏటింగ్ టెక్నాలజీ విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతోంది. ఫిల్మ్ సిస్టమ్‌లలో TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, మొదలైనవి ఉన్నాయి. పూత ఉత్పత్తులలో సాధనాలు, అచ్చులు మొదలైనవి ఉన్నాయి. అనుకరణ బంగారం మరియు రంగు అలంకార రక్షణ పూతల పరంగా, ఫిల్మ్ సిస్టమ్‌లలో TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON మొదలైనవి ఉన్నాయి. కలర్ ఫిల్మ్ సిస్టమ్‌లలో గన్ బ్లాక్, బ్లాక్, పర్పుల్, బ్రౌన్, బ్లూ గ్రీన్ గ్రే మొదలైనవి ఉన్నాయి.

బహుళ ఆర్క్ అయాన్coఏటింగ్ విస్తృత శ్రేణి అనువర్తనాలు మరియు బలమైన ఆచరణాత్మకతను కలిగి ఉంది, ముఖ్యంగా కట్టింగ్ టూల్స్, అచ్చులు మరియు స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ ప్లేట్లు వంటి పదార్థాల ఉపరితలాలపై అలంకార మరియు దుస్తులు-నిరోధక హార్డ్ ఫిల్మ్ పొరలను పూత పూయడంలో.