வெற்றிட கத்தோட் ஆர்க் அயன் பூச்சு பற்றிய கண்ணோட்டம்

வெற்றிட கேத்தோடு வில் அயன்coஏட்டிங் என்பது வெற்றிட வில் என சுருக்கமாக அழைக்கப்படுகிறது.coஇரண்டு அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட வெற்றிட வில் ஆவியாதல் மூலங்கள் (வில் மூலங்கள் என குறிப்பிடப்படுகின்றன) பயன்படுத்தப்பட்டால், அது பல வில் அயன் என்று அழைக்கப்படுகிறது.coஏட்டிங் அல்லது பல வில்coating. இது ஆவியாதல் மூலங்களுக்கு வெற்றிட வில் வெளியேற்றத்தைப் பயன்படுத்தும் ஒரு வெற்றிட அயனி பூச்சு தொழில்நுட்பமாகும். வெற்று கேத்தோடு வெளியேற்றத்தின் சூடான எலக்ட்ரான் வில் போலல்லாமல், அதன் வில் வடிவம் குளிர் கேத்தோடு மேற்பரப்பில் கேத்தோடு வில் புள்ளிகளை உருவாக்குவதாகும்.

வெற்றிட கேத்தோடு வில் அயனியின் பண்புகள்coஅவை:

(1) ஆவியாதல் மூலமானது ஒரு திடமான கேத்தோடு இலக்காகும், இது உருகிய குளத்தின் தேவை இல்லாமல் கேத்தோடு இலக்கு மூலத்திலிருந்து நேரடியாக பிளாஸ்மாவை உருவாக்குகிறது. சீரான பூச்சு உறுதி செய்வதற்காக வில் இலக்கு மூலத்தை எந்த திசையிலும் பல மூலங்களிலும் ஏற்பாடு செய்யலாம்.

(2) உபகரண அமைப்பு ஒப்பீட்டளவில் எளிமையானது, வேலை செய்யும் வாயு அல்லது துணை அயனியாக்கம் முறைகள் தேவையில்லை. வில் இலக்கு மூலமானது கேத்தோடு பொருளுக்கு ஆவியாதல் மூலமாக மட்டுமல்லாமல், அயனி மூலமாகவும் உள்ளது; வினைத்திறன் படிவின் போது, ​​வினைத்திறன் வாயு மட்டுமே உள்ளது, மேலும் வளிமண்டலம் ஒரு எளிய முழு அழுத்தக் கட்டுப்பாட்டைப் பயன்படுத்தி கட்டுப்படுத்தப்படுகிறது.

(3) அயனியாக்கம் விகிதம் அதிகமாக உள்ளது, பொதுவாக 60%~80% ஐ அடைகிறது, மேலும் படிவு விகிதம் அதிகமாக உள்ளது.

(4) படு அயனி ஆற்றல் அதிகமாக உள்ளது, மேலும் டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படலத்தின் படலம்/அடி மூலக்கூறு பிணைப்பு விசை நன்றாக உள்ளது.

(5) பாதுகாப்பான செயல்பாட்டிற்கு குறைந்த மின்னழுத்த மின்சார விநியோகத்தைப் பயன்படுத்துதல்.

(6) இது உலோகப் படலங்கள், அலாய் படலங்களை வைப்பு, பல்வேறு கூட்டுப் படலங்களை (அம்மோனியா சேர்மங்கள், கார்பைடுகள், ஆக்சைடுகள்) வினைபுரிந்து ஒருங்கிணைக்க முடியும், மேலும் DLC படலங்கள், CN படலங்கள் போன்றவற்றையும் ஒருங்கிணைக்க முடியும். இதன் குறைபாடு என்னவென்றால், படிவின் போது, ​​இலக்கு மேற்பரப்பில் இருந்து சிறிய திரவத் துளிகள் தெறிக்கப்படுகின்றன, அவை பூசப்பட்ட படல அடுக்கில் ஒடுங்கி படல அடுக்கின் கடினத்தன்மையை அதிகரிக்கின்றன. தற்போது, ​​இந்த நுண் துளிகளைக் குறைத்து அகற்ற பல பயனுள்ள முறைகள் ஆய்வு செய்யப்பட்டுள்ளன.

வெற்றிட வில் அயன்coகருவிகள் மற்றும் அச்சுகளுக்கு சூப்பர்ஹார்டு பாதுகாப்பு பூச்சுகளை பூசுவதற்கு ஏட்டிங் தொழில்நுட்பம் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. பட அமைப்புகளில் TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC போன்றவை அடங்கும். பூச்சு தயாரிப்புகளில் கருவிகள், அச்சுகள் போன்றவை அடங்கும். சாயல் தங்கம் மற்றும் வண்ண அலங்கார பாதுகாப்பு பூச்சுகளைப் பொறுத்தவரை, பட அமைப்புகளில் TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON போன்றவை அடங்கும். வண்ணப் பட அமைப்புகளில் துப்பாக்கி கருப்பு, கருப்பு, ஊதா, பழுப்பு, நீலம் பச்சை சாம்பல் போன்றவை அடங்கும்.

பல வில் அயன்coஏட்டிங் பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளையும் வலுவான நடைமுறைத்தன்மையையும் கொண்டுள்ளது, குறிப்பாக வெட்டும் கருவிகள், அச்சுகள் மற்றும் துருப்பிடிக்காத எஃகு தகடுகள் போன்ற பொருட்களின் மேற்பரப்பில் அலங்கார மற்றும் தேய்மான-எதிர்ப்பு கடின படல அடுக்குகளை பூசுவதில்.