Sifa na Utumizi wa Upakaji Mipako Tendaji

Katika mchakato wa kunyunyizia maji, misombo inaweza kutumika kama shabaha za utayarishaji wa filamu zilizoundwa kwa kemikali. Hata hivyo, utungaji wa filamu inayozalishwa baada ya kunyunyiziwa kwa nyenzo lengwa mara nyingi hupotoka sana kutoka kwa utunzi wa asili wa nyenzo inayolengwa, na kwa hivyo haikidhi mahitaji ya muundo wa asili. Ikiwa shabaha ya chuma safi inatumiwa, gesi inayotumika inayohitajika (kwa mfano, oksijeni wakati wa kuandaa filamu za oksidi) huchanganywa kwa uangalifu ndani ya gesi inayofanya kazi (ya kutokwa), ili iweze kuguswa na kemikali na nyenzo inayolengwa kutoa filamu nyembamba ambayo inaweza kudhibitiwa kulingana na muundo na sifa zake. Njia hii mara nyingi hujulikana kama "rection sputtering".

Kama ilivyoelezwa hapo awali, RF sputtering inaweza kutumika kuweka filamu dielectric na filamu mbalimbali kiwanja. Hata hivyo, ili kuandaa filamu "safi", ni muhimu kuwa na lengo "safi", oksidi ya juu ya usafi, nitridi, carbudi, au poda nyingine ya kiwanja. Usindikaji wa poda hizi kwa lengo la sura fulani inahitaji kuongeza ya viungio muhimu kwa ukingo au sintering, ambayo inasababisha kupunguzwa kwa kiasi kikubwa kwa usafi wa lengo na filamu inayosababisha. Katika sputtering tendaji, hata hivyo, kwa kuwa metali za usafi wa juu na gesi za usafi wa juu zinaweza kutumika, hali rahisi hutolewa kwa ajili ya maandalizi ya filamu za usafi wa juu. Kunyunyizia tendaji kumepokea umakini mkubwa katika miaka ya hivi karibuni na imekuwa njia kuu ya kunyunyiza filamu nyembamba za misombo anuwai ya utendaji. Imetumika sana katika utengenezaji wa misombo ya IV, I- na IV-V, semiconductors kinzani, na aina mbalimbali za oksidi, kama vile matumizi ya polycrystalline Si na CH./Ar mchanganyiko wa gesi kurusha mvua ya filamu nyembamba za SiC, Ti target na N/Ar kuandaa filamu ngumu za TiN, Ta na O/Ar kuandaa TaO; filamu nyembamba za dielectric, Fe na O,/Ar kuandaa -FezO; -FezO. filamu za kurekodi, filamu za AIN za piezoelectric zenye A1 na N/Ar, filamu za kuchagua za A1-CO zenye AI na CO/Ar, na filamu za YBaCuO-superconducting zenye Y-Ba-Cu na O/Ar, miongoni mwa zingine.

- Nakala hii imetolewa namtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupuGuangdong Zhenhua